本实用新型公开了低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统，包括真空室、真空泵组、真空抽气管道阀门组件、工作气体输入单元、调节气体输入单元、压力测量单元和电气控制单元，真空泵组通过真空抽气管道对真空室抽取真空。工作气体输入单元包...

本实用新型公开了一种方向不变可调高度支撑架。该支撑架主要由上固定板、螺母、压板、支撑柱及底板等组成。上固定板是本支撑架的上方固定连接板，其形状可根据所支撑物体进行改变。螺母固定于支撑柱上，是固定支撑柱与上固定板的重要零件。压板的作用是在...

本实用新型属于热真空试验技术领域，公开了一种热真空试验用立体导热平台。包括：导热平台主体、导热面、进液管路、出液管路和若干工质流道；所述导热平台主体为长方体结构，所述导热平台主体的中部为中空结构，所述导热平台主体的后上方设有出液管路，所...

本发明公开了一种采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，它由入光真空管道(1)、出光真空管道(2)、滤波小孔组件(3)、入光透镜(4)、出光透镜(5)组成一个密闭的真空腔体，在入光真空管道和出光真空管道的法兰上分别安装吸气剂泵(7)和分体...

本发明公开了低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统，包括真空室、真空泵组、真空抽气管道阀门组件、工作气体输入单元、调节气体输入单元、压力测量单元和电气控制单元，真空泵组通过真空抽气管道对真空室抽取真空。工作气体输入单元包括电...

本实用新型为一种硅集成电路的铟层镀膜机构，包括真空室、蒸发源、基片架和中心隔板；真空室的顶端上方设有驱动机构，驱动机构通过传动轴穿入真空室内与基片架连接；真空室的后侧壁上设有主抽气口，主抽气口上设有冷阱，中心隔板的四周通过螺钉固定在真空...

本实用新型属于真空元器件技术领域，涉及一种可调节真空密封运动装置，包括：密封法兰、调节杆、波纹管和支撑法兰；真空管依次穿过密封法兰和波纹管；密封法兰下端与波纹管上端用密封焊固连，波纹管下端与真空管外壁用密封焊固连；真空管下端穿入支撑法兰...

本实用新型属于光学实验真空设备技术领域，公开了一种平台高度调整机构。通过在真空箱体内部设置螺杆‑螺母机构，实现调整光学平台的支撑高度，调整合适后，锁紧高度调整螺杆，并安装压盖。所述平台高度调整机构在设备使用过程中，也可在真空箱体内部调整...

本实用新型为多维度可调地脚，包括支撑杆和支座；支撑杆与支座通过球面副连接；支撑杆包括调节螺杆、锁紧螺母和球头支杆；支座包括压板、可动支撑座、调节螺栓和固定底座；调节螺杆通过螺纹副与平台类设备连接，锁紧螺母与调节螺杆通过螺纹连接，用于锁紧...

本实用新型公开了一种真空全金属快速锁紧密封装置，包括：金属管、金属管胀口、螺帽、法兰刀口和法兰座；金属管末端设有金属管胀口，法兰座上端设有法兰刀口，金属管胀口通过螺帽将其与法兰刀口快速锁紧，实现金属管与法兰座在真空环境下的快速密封。金属...

本实用新型涉及一种多基片与多磁控靶之间的位置控制电路，包括：光电开关K1‑K16，若干二极管D1、若干稳压二极管D2、若干电阻R1、若干电阻R2和若干三极管Q；本实用新型提供的多基片多磁控靶位置控制电路，可以完成特定基片对应特定磁控靶的...

本实用新型公开了一种真空箱体上盖侧开式机构，包括机架、开盖机构、静滑轮固定连接件、钢丝绳固定连接件、电动推杆固定连接件；开盖机构包括电动推杆、滑轮组和钢丝绳，所述滑轮组包括一个静滑轮和一个动滑轮。真空箱体上盖侧开式机构使箱体上盖绕一条边...

本实用新型涉及一种气体室排气充气控制系统，包括：质量流量计、气体泄漏探头、泵、阀、报警器、模拟量模块、数字量模块、真空计和上位机；所述质量流量计与模拟量模块连接，所述气体泄漏探头与模拟量模块连接，所述泵与数字量模块连接，所述阀与数字量模...

本发明为一种硅集成电路的铟层镀膜机构，包括真空室、蒸发源、基片架和中心隔板；真空室的顶端上方设有驱动机构，驱动机构通过传动轴穿入真空室内与基片架连接；真空室的后侧壁上设有主抽气口，主抽气口上设有冷阱，中心隔板的四周通过螺钉固定在真空室的...