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本发明涉及一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，该一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，包括腔体，还包括多个进气口、多个测温观察窗口、多个水平观察窗口、石英玻璃环、水冷台、钼基片台、等离子体、天线、微波馈入端口和多个排气口，所述腔体...
该专利属于上海利方达真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海利方达真空技术有限公司授权不得商用。

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