涂覆基材的方法,用于实施所述方法的设备和用于这样的设备的金属供应装置制造方法及图纸

技术编号:4486825 阅读:192 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及通过真空蒸发可以升华的金属或金属合金层来涂覆行进的基材的至少一个表面的方法,其中相对基材的表面提供金属或金属合金,该金属或金属合金的形式为彼此接触的至少两个坯锭,在涂覆过程期间,将朝向基材表面的坯锭的表面与该基材保持平行且与之保持恒定距离;本发明专利技术还涉及用于实施所述方法的涂覆设备和用于这样的设备的供应装置(1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于涂覆行进的基材的方法,更特别是用具有基于金 属元素例如镁(但决不局限于此)的层来涂覆钢带材。
技术介绍
已知用于在行进的基材上进行沉积的各种方法,所述行进的基材 例如钢带材、由金属层构成的金属涂层,或者不同金属或金属合金的 若干连续层。在这些方法中,可以提及热浸镀锌和电沉积,或甚至各种真空沉积(磁控溅射、焦耳(Joule)蒸发、电子轰击和SIP(自引 发等离子体))方法。真空沉积法具有如下优势环境友好和能够沉积几乎所有已知元 素以及合金。当需要金属层连续沉积于行进的基材上时,出现了如何 用待沉积的金属供给沉积腔室的问题。已知第一种类型的涂覆设备,其中在传送(例如通过泵送或者通 过气压计原理)到沉积区前,通过在炉子中熔化来将待沉积的金属保 持为液体形式。然而,这种类型的设备不适于沉积升华的金属元素,即直接从固相变为气相的那些金属元素。已知第二种类型的涂覆设备,其中待沉积的金属是以规则方式引入其中的固体形式例如线材形式,或者是置于惰性石墨坩锅中的细粒 形式。这些设备能够沉积升华的金属元素,但沉积过程是不稳定的, 导致涂层的厚度随时间过程而不均匀,并且在加热功率方面受限,阻 碍了足够高沉积速率的实现。
技术实现思路
因此,本专利技术的目的是通过如下方式来弥补现有技术方法的缺点 提供用可升华金属或金属合金对行进的基材进行涂覆的方法,该方法 允许以高沉积速率进行随时间稳定的操作。为此目的,本专利技术的第一方面是通过真空蒸发用可升华金属或金 属合金层来涂覆行进的基材的至少一侧的涂覆方法,其中布置所述金 属或金属合金以便面向基材的所述侧,所述金属或金属合金的形式为 彼此接触的至少两个坯锭(lingot),在涂覆期间,面向基材所述侧 的所述坯锭表面保持与基材平行且与之保持恒定距离。根据本专利技术的方法还可以单独或组合包括多种特征-可以同时(连续或顺序地)移动可升华金属或金属合金的坯锭, 以便使其面向基材的表面保持与基材平行且与基材保持恒定距离;-可以通过平移来同时移动可升华金属或金属合金的坯锭,与面向基材的表面相对的坯锭表面与倾斜面接触;-可以通过如下方式同时移动坯锭在与基材行进的平面平行的 平面内且在与基材行进的方向垂直的方向上进行平移,与面向基材的 表面相对的坯锭表面同倾斜面接触;-可以通过如下方式同时移动坯锭在与基材行进的平面平行的 平面内且在与基材行进的方向平行的方向上进行平移,与面向基材的 表面相对的坯锭表面与倾斜面接触;-基材可以竖向行进,坯锭彼此堆叠;-可以通过真空蒸发在基材的两侧上涂覆可升华金属或金属合金 层,布置金属或金属合金以便面向基材的每一侧,所述金属或金属合 金的形式为彼此接触的至少两个坯锭,在涂覆期间,使面向基材每一 侧的坯锭表面保持与基材侧面平行且与之保持恒定距离;-用于基材每一侧的金属或金属合金可以相同或不同;-真空蒸发方法可以是通过等离子体增强蒸发例如通过SIP (自 引发等离子体)蒸发进行的沉积方法;-金属或金属合金可以选自锌、镁、铬、锰和硅或它们的合金,且优选镁或其合金;-可以在反应性气氛中通过真空蒸发进行沉积;及-行进的基材可以是钢带材(任选地已预先涂覆),且优选已预 先用锌或锌合金涂覆的钢带材,且在该钢带材上沉积镁或镁合金层。本专利技术的第二方面是使用可升华金属或金属合金层在基材S的至 少 一侧上对其进行连续涂覆的涂覆设备,该涂覆设备包含真空腔室, 该真空腔室含有-真空蒸发涂覆器;-用于使所述基材S行进通过涂覆器的装置;及 -用于向涂覆器供给金属或金属合金的供料器1、 11、 21,所述金属或金属合金的形式为坯锭Ll、…、Ln、 L,l..... L,n,并且包含用于使所述坯锭L1.....Ln、 L,l..... L,n保持彼此接触且用于使坯锭Ll..... Ln、 L,l、…、L,n的面向基材S的待涂覆侧的表面与基材S平行且与之保持恒定距离的装置。根据本专利技术的设备还可以单独或组合地包含以下实施方案 -供料器1、 11、 21可包含用于顺序地或连续地同时移动坯锭Ll..... Ln、 L,l..... L,n的装置,以便使所述坯锭的面向基材S的表面保持与基材S平行且与之保持恒定距离;-供料器11可包含至少一个倾斜面2、2,,坯锭Ll、…、Ln、L,1、...、 L,n通过它们的与面向基材S的一侧相对的侧面同该至少一个倾斜面2、 2,接触,用于移动坯锭L1..... Ln、 L,l.....L,n的装置能够通过如下方式使所述坯锭移动在与基材S行进的平面平行的平面内且在与基材S行进的方向垂直的方向上进行平移,并且在坯锭L1.....Ln、 L,l、…、L,n的移动方向上,倾斜面2、 2,的倾斜度增加;-用于移动坯锭L1..... Ln、 L,l..... L,n的装置可由至少一个活塞3、 3,构成,该至少一个活塞3、 3,作用在与倾斜面2、 2,的第一 端接触的第一坯锭L1、 L,l上,且相对于基材S横向延伸,在所述倾斜面2、 2,上,第一坯锭L1、 L,l依次作用于其前面的坯锭L2.....Ln、 L,2、…、L,n上直至所述倾斜面2、 2'的第二端;-该设备可以具有第一倾斜面2和第二倾斜面2,,该第一倾斜面2提供有坯锭L1.....Ln和第一活塞3,该第一活塞3作用在与第一倾斜面2的第一端接触的第一坯锭Ll上,且第二倾斜面2,提供有坯锭L,l..... L,n和第二活塞3,,该第二活塞3,作用在与第二倾斜面3,的第一端接触的第一坯锭L,l上,所述活塞3、 3,能够以相同方向或相反 方向产生作用;-该设备可包含两个罐体4,用于通过重力回收用废坯锭U,所述 罐体位于每一倾斜面2、 2,第二端的下方;-供料器11、21可具有至少一个倾斜面12、22,所述坯锭L1、…、 Ln通过它们的与面向所述基材S的 一 侧相对的侧面同该至少 一 个倾斜 面12、 22接触,用于移动坯锭的装置能够通过如下方式使坯锭移动 在与基材S行进的平面平行的平面内且在与基材S行进的方向平行的方向上进行平移,并且在所述坯锭L1...... Ln移动方向上,倾斜面12、 22的倾斜度增加;-用于移动坯锭Ll...... Ln的装置可由至少一个活塞13、 23构成,该至少一个活塞13、 23作用在与所述倾斜面12、 22的第一端 接触的第一坯锭L1上,且相对于基材S纵向延伸,在倾斜面12、 22上,第一坯锭L1依次作用于其前面的坯锭L2......Ln上直至该倾斜面12、 22的第二端;-该设备可包含罐体,用于通过重力回收用废坯锭,所述罐体位 于倾斜面12、 22的第二端的下方;-基材S可以竖向行进,供料器21包含至少一个竖向板24,坯 锭L1..... Ln堆叠在该板上,所述板与至少一个竖向活塞23接触;-该设备可包含面向基材S的每一侧的供料器1、 11、 21,每个供 料器l、 11、 21能够包含相同或不同的金属或金属合金,且真空蒸发 器面向基材S的每一侧,它们全部位于同一真空腔室内;-该设备可包括用于将反应性气氛引入真空腔室的装置;-真空蒸发器可以是等离子增强的蒸发沉积装置,例如用于通过 自引发等离子体(SIP)蒸发进行沉积的装置;及-金属或金属合金的坯锭Ll.....Ln、 L,l.....L,本文档来自技高网...

【技术保护点】
涂覆方法,用于通过真空蒸发可升华金属或金属合金层来涂覆行进的基材的至少一侧,其中布置所述金属或金属合金以便面向基材的所述侧,所述金属或金属合金的形式为彼此接触的至少两个坯锭,在涂覆期间,面向基材所述侧的所述坯锭的表面保持与基材平行且与基材保持恒定距离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:D查雷克斯D雅克F斯珀尼姆
申请(专利权)人:安赛乐米塔尔法国公司
类型:发明
国别省市:FR[法国]

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