卷绕镀膜机制造技术

本发明专利技术提供了一种卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构，其特征是在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道，真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成。本发明专利技术镀膜机卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外，真空锁和窄缝阻尼通道密封可靠，寿命长，设备制造成本低，能进行连续生产，镀膜机能在塑料薄膜、金属板材表面进行单层或多层镀膜，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种巻绕镀膜机，特别涉及的是一种巻材放巻机构和收 巻机构置于真空室之外的巻绕镀膜机。技术背景-在薄膜上镀功能膜多采用巻绕镀膜方式，，而传统的巻绕镀膜机采用单辊整体式镀膜，既在一个镀膜真空室内安放一个冷棍、2-3个阴极 及靶芯及巻材放巻机构、收巻机构，由于结构限制原因，特别是要将体 积庞大的巻材放巻机构、收巻机构置于真空室之内，需太大的真空箱， 且全在真空箱内，通水、通电的管线多，产生的气体放气量太大，不利 真空泵经济的运行，结构设计复杂及不方便检修，并且无法进行连续生 产，生产效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服以上不足，提供一种生产效率高、设备成 本低、巻材放巻机构和收巻机构置于真空室之外的能进行连续生产的巻 绕镀膜机。本专利技术的目的是这样来实现的本专利技术巻绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之 外的巻材放巻机构和收巻机构，其特征是在镀膜真空室与巻材放巻机构 和收巻机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道，真空通道由窄缝 阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成，将巻材放巻机构和收巻机构 置于真空室之外，大大降低了设备制造成本，也减轻了抽真空难度，减 少了真空泵负荷，真空锁和窄缝阻尼通道组成了结构简便、密封性能可 靠、寿命长的密封通道，由于无密封条、密封辊筒等密封元件与巻材的紧密接触，既保证了镀膜真空室内2-4X10—2Pa的工作真空度，又避免 了巻材与密封件的相互磨损，保证了巻材表面质量，本专利技术巻绕镀膜机 能进行连续生产，大大地提高了生产效率。上述的巻绕镀膜机，真空通道有至少一个抽真空泵组成的真空抽气3系统。通过多组真空锁和窄缝阻尼组成的真空密封机构形成真空通道，实现了逐级抽真空，保证了镀膜真空室内2-4X10—2Pa的工作真空度。上述的巻绕镀膜机，镀膜真空室中有电子枪蒸发镀膜机构，有可对 带材一面或两面镀膜的至少一把电子枪和带材转向机构。当需要对带材 两面都镀膜时，利用带材转向机构如辊筒转向机构使带材另一面面向电 子枪，实现了对带材两面镀膜，并利用带材转向机构对带材两面进行单 层或多层镀膜。上述的巻绕镀膜机，镀膜真空室出口有与之连接的真空附箱，真空 附箱中有冷却辊，已镀膜完毕的带材特别是金属板材温度较高，需在收 巻之前安置冷却机构对其进行降温处理。上述的巻绕镀膜机，在巻材进入镀膜真空室之前位置安装有使巻材 镀前其表面被加热、活化清洁的电子枪或离子源或加热器预处理机构。 对膜表面进行清洗和表面处理，以保证后续镀膜质量。本专利技术巻绕镀膜机改变了传统的巻绕镀膜机采用整体式镀膜结构， 即在一个真空室内安放冷棍、阴极及靶芯及巻材放巻机构、收巻机构， 本专利技术镀膜机巻材放巻机构和收巻机构置于真空室之外，真空锁和窄缝 阻尼通道密封可靠，寿命长，设备制造成本低，镀膜机能在塑料薄膜、 金属板材表面多层镀膜，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平 滑。附图说明图1为本专利技术巻绕镀膜机结构示意图。图2为图l俯视示意图。 图3为图1中A向示意图。图4为本专利技术巻绕镀膜机单面镀膜时带材转向机构、真空镀膜室相 互位置关系示意图。图5为本专利技术巻绕镀膜机双面镀膜时真空镀膜室、真空附箱位置关 系示意图。图6为本专利技术巻绕镀膜机真空锁局部放大结构示意图。 图7为图6中B部分局部放大结构示意图。 图8为阻尼通道部分局部放大结构示意图。 图9为本专利技术巻绕镀膜机另一结构示意图。具体实施例方式实施例1:4图1、图2、图3、图4、图6、图7、图8给出了本专利技术实施例1 图。参见图1 图3，本专利技术巻绕镀膜机中有置于镀膜真空室之外的巻 材放巻机构1和收巻机构19、钢带(或塑料薄膜)2、已镀的钢带成品 18、钢带对接机构3、 l号真空附箱4、 l号真空锁5、 l号阻尼通道6、 3号阻尼通道7、使巻材镀前其表面被加热、活化清洁的电子枪8、靶材 9、镀膜电子枪10、真空镀膜室11、 4号真空附箱12、 2号阻尼通道13、 3号真空附箱14、冷却辊15、 2号真空锁16、 2号真空附箱17、由滑阀 泵20、罗茨泵21及管道组成的真空系统22。各部位的真空锁和阻尼通 道的窄缝24 (参见图6、图7、图8)组成了结构简便、密封性能可靠、 寿命长的密封通道，阻隔了镀膜真空室与大气之间的联系，保证了镀膜 真空室内2-4X10—2pa的工作真空度，由于无密封条、密封辊筒等密 封元件与巻材的紧密接触，既保证了镀膜真空室内2-4X 10-2pa的工作 '真空度，又避免了巻材与密封件的相互磨损，保证了巻材表面质量。将 巻材放巻机构和收巻机构置于真空室之外，大大降低了设备制造成本， 也减轻了抽真空难度，减少了真空泵负荷。本专利技术巻绕镀膜机工作时，巻材放巻机构1与巻材收巻机构19分 别设置在普通环境中，从放巻机l上放出的将要被镀的钢带(或塑料薄 膜)2通过1号真空附箱4、 1号真空锁5、 1号阻尼通道6进入镀膜室 11，进入镀膜室11之前用电子枪8对钢带加热、活化清洁，电子枪IO 蒸发金属靶材9(参见图4)，金属粒子快速沉积到被改性的钢带表面上， 实现了对钢带一面的镀膜改性处理，在镀膜箱体11中有带材转向机构 23，钢带经转向进入到3号阻尼通道7，在通过3号真空附箱14时，钢 带紧贴旋转的冷却辊15 —圈后又进入到2号真空锁16，再从2号真空 附箱17中出来，经收巻机构19收巻后得到成品巻材18。实施例2:图1、图2、图3、图5、图6、图7、图8给出了本专利技术实施例2 图。本实施例中，当需要对带材两面都镀膜时(参见图5)，钢带一面镀 膜后，利用辊筒转向机构使带材重新回到镀膜室ll，带材另一面面向另 一把电子枪，实现了对带材两面镀膜，钢带经转向进入到4号真空附箱 12、 2号阻尼通道13中，同样，在通过3号真空附箱14时，钢带紧贴 旋转的冷却辊15 —圈后又进入到2号真空锁16，再从2号真空附箱17 中出来，经收巻机构19收巻后得到成品巻材18。实施例3:图9给出了本专利技术实施例3图。本实施例3结构基本与实施例1同， 不同处是多了一个镀膜室ll，实现了对带材一面两次镀膜。上述各实施例是对本专利技术的上述内容作迸一步的说明，但不应将此 理解为本专利技术上述主题的范围仅限于上述实施例。凡基于上述内容所实 现的技术均属于本专利技术的范围。权利要求1、卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构，其特征在于在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道，真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成。2、 根据权利要求1所述的巻绕镀膜机，其特征在于真空通道有至 少一个抽真空泵组成的真空抽气系统。3、 根据权利要求1或2所述的巻绕镀膜机，其特征在于镀膜真空 室中有电子枪蒸发镀膜机构，有可对带材一面或两面镀膜的至少一把电 子枪和带材转向机构。4、 根据权利要求1或2所述的巻绕镀膜机，其特征在于镀膜真空 室出口处有与之连通的真空附箱，真空附箱中有冷却辊。5、 根据权利要求1或2所述的巻绕镀膜机，其特征在于在巻材进 入镀膜真空室之前位置安装有使巻材镀前其表面被加热、活化清洁的电 子枪或离子源或加热器预处理机构。全文摘要本专利技术提供了一种卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构，其特征在于在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道，真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：甘国工，
申请(专利权)人：甘国工，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]