【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种高级配方生成器。
技术介绍
1、ace是一款高级良率数据分析系统，可帮助晶圆厂获取、保留并且共享良率提升经验，尽早采取纠正措施，从而加速良率提升与产品上市。klarity系统使用直观的模块化决策流分析，用户通过连接经过配置的模块创建定制分析配方。
2、面对同一个任务，与高级用户相比，因仅能掌握少数简单的模块，普通用户制作的ace配方，需要更多的预处理操作——配置更多的模块；而高级用户制作的ace配方，预处理操作更少——配置更少的模块，例如，面对绘制控制图的任务，普通用户制作的配方如图1所示，虽然结构简单，容易掌握，但是，如果需要增加n个产品，就要新增n套*四个模块；如果n个产品都需要新增一张控制图，就需要修改n套模块。高级用户制作的配方虽然结构会比较复杂，但是需要增加n个产品或是n个产品都需要新增一张控制图时，都只需要修改其中较少的几个模块。
3、所以，业界通常尽力避免采用不切实际的、企图将所有普通用户培养为高级用户的方式，而是由高级用户制作ace配方，普通用户只学习该配方的预...
【技术保护点】
1.一种高级配方生成器，其特征在于，所述配方生成器包括：存储器与处理器，
2.根据权利要求1所述的高级配方生成器，其特征在于，所述模板化处理过程包括：分析ACE高级配方以划分出所述静态部分与所述动态部分；分析所述动态部分以选择合适的方式对各部件进行模板化处理；将完成处理的高级配方存储为模板文件。
3.根据权利要求1或2所述的高级配方生成器，其特征在于，模板化处理方式包括：改为占位符、清空内容或保留基线。
4.根据权利要求3所述的高级配方生成器，其特征在于，模板套用过程是用与所述模板对应的所述模板套用算法，以将用户输入信息灌入所述模板
【技术特征摘要】
1.一种高级配方生成器，其特征在于，所述配方生成器包括：存储器与处理器，
2.根据权利要求1所述的高级配方生成器，其特征在于，所述模板化处理过程包括：分析ace高级配方以划分出所述静态部分与所述动态部分；分析所述动态部分以选择合适的方式对各部件进行模板化处理；将完成处理的高级配方存储为模板文件。
3.根据权利要求1或2所述的高级配方生成器，其特征在于，模板化处理方式包括：改为占位符、清空内容或保留基线。
4.根据权利要求3所述的高级配方生成器，其特征在于，模板套用过程是用与所述模板对应的所述模板套用算法，以将用户输入信息灌入所述模板的过程。
5.根据权利要求4所述的高级配方生成器，其特征在于，所述模板套用算法转换为生成器能够识别并应用的形式以存入所述数据库的过程为模板套用算法的表示过程。
6.根据权利要求5所述的高级配方生成器，其特征在于，模板套用算法的表示过程包括：对所述ace高级配方进行模板化处理的过程中，高级用户在选择所述动态部分各部件的模板化处理方式的同时，确定与之相应的所述模板套用算法，并将各部件的所述模板套用算法总结为表格，其中，所述表格包括模板名、部件名、算法名及算法参数列表。
7.根据权利要求6所述的高级配方生成器，其特征在于，所述算法名包括：替换属性值、替换占位符、新增子节点、替换表格内容及复制实验组。
...【专利技术属性】
技术研发人员：孙天拓，高杏，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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