【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，尤其涉及一种用来制作微小元件压印 模仁对位标记的制作方法。
技术介绍
随着摄像技术的发展，镜头模组与各种便携式电子装置如手机、摄像机、电脑等的 结合，更是得到众多消费者的青睐，所以市场对小型化镜头模组的需求增加。目前小型化镜头模组多采用晶圆级镜片，其一般是利用精密模仁压印出微型镜片 阵列，然后与硅晶圆制成的影像感测器电连接、封装，然后切割，得到的每一小单元都是一 个晶圆级的相机模组。然而，得到的相机模组也常常因两个镜片的光轴并不重合而出现偏 心情况，偏心的存在严重影响该相机模组所拍摄影像的品质。为了减小偏心，通常以机械加工方式在模仁的基板上制作对位标记。然而，由于刀 具刀刃较厚，所以，以机械加工方式在基板上无法制作尺寸较小的对位标记。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种尺寸较小的基板对位标记的制作方法。，其包括提供一块基板，该基板具有一个表面，该 表面上形成有一个凹陷；在该凹陷内部设置光阻层；曝光、显影，以使该光阻层中部分光阻 被保留；在该部分光阻的周围设置金属层；去除该部分光阻，留下该金属层，以形成金属层 围绕的对位标记。与现有技术相比，本专利...
【技术保护点】
一种基板对位标记的制作方法，其包括：提供一块基板，该基板具有一个表面，该表面上形成有一个凹陷；在该凹陷内部设置光阻层；曝光、显影，以使该光阻层中部分光阻被保留；在该部分光阻的周围设置金属层；去除该部分光阻，留下该金属层，以形成金属层围绕的对位标记。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：骆世平，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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