下载一种基板对位标记的制作方法的技术资料

文档序号:4357322

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本发明涉及一种基板对位标记的制作方法,其包括:提供一块基板,该基板具有一个表面,该表面上形成有一个凹陷;在该凹陷内部设置光阻层;曝光、显影,以使该光阻层中部分光阻被保留;在该部分光阻的周围设置金属层;去除该部分光阻,留下该金属层,以形成金属...
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