【技术实现步骤摘要】
本技术涉及废气净化，特别涉及一种用于扩散炉的废气排放装置。
技术介绍
1、扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在工作过程中，经高温扩散产生的尾气进入排气管道，其会产生较多的废气，废气直接排放，不仅影响厂区空气质量，还会造成一定的大气污染，因此需在其尾气排气管道加设排放装置，以去除尾气中的有害废气。如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种扩散炉废气排放装置(公开公告号cn219290974u)，此类装置通过启动负压风机将炉体排出的废气导入到导气管内部通过出气孔均与排出，扩大废气与过滤箱内部水的接触面积，同时通过启动制冷对过滤箱内部的水中进行冷却，从而对废气进行降温液化，从而可以将废气中杂质截留一部分在冷水中，然后剩余的废气通过过滤板进行再次过滤，使得排出的空气不会对大气造成污染。
2、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的扩散炉废气排放装置，还存在一些不足之处：现有采用冷却水对扩散炉废气进行冷却降温、杂质截留，而后利用过滤板进行再次过滤的方式，其仅...
【技术保护点】
1.一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，包括冷却罐(1)以及安装于冷却罐(1)罐体底部的喷淋罐(2)；
2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，所述进气组件包括导通连接在冷却罐(1)上部罐口的导流烟管(3)，且导流烟管(3)的管道另一端安装有抽气扇(9)，所述抽气扇(9)的通风口安装有进气烟管(10)。
3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，所述导流烟管(3)的管道底端安装有第一法兰座(11)，所述冷却罐(1)的上部罐口端安装有第一对接法兰(12)，且第一法兰座(11)与第一对接法兰(...
【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，包括冷却罐(1)以及安装于冷却罐(1)罐体底部的喷淋罐(2)；
2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，所述进气组件包括导通连接在冷却罐(1)上部罐口的导流烟管(3)，且导流烟管(3)的管道另一端安装有抽气扇(9)，所述抽气扇(9)的通风口安装有进气烟管(10)。
3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，所述导流烟管(3)的管道底端安装有第一法兰座(11)，所述冷却罐(1)的上部罐口端安装有第一对接法兰(12)，且第一法兰座(11)与第一对接法兰(12)之间通过第一收紧旋钮拧接固定。
4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，所述导热换热组件包括开设于冷却罐(1)罐体内部的存水腔(14)，所述存水腔(14)的腔室顶部导通连接有进水阀(15)，且存水腔(...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵海军，孟庆昌，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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