【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散炉，特别涉及一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体。
技术介绍
1、扩散炉有垂直扩散炉和水平(卧式)扩散炉两种类型，其中卧式扩散炉的特点是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好，在扩散炉使用中，由于常规的石英管不能承受长期的高温热处理工艺，因此需对使用后的扩散炉体进行及时的降温工作，如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种卧式扩散炉快速降温炉体(公开公告号cn217929808u)，此类装置在对炉体进行降温时，空气经过蛇形导气管时会被水箱内的冷却用水降温，因此通过进气管进入电阻炉体与石英管间隙的空气，利用冷空气对炉体进行降温工作，且通过降温组件可使水箱内的水温长期稳定保持在降低的水平，在具备良好降温效果的同时，也会降低用水成本。
2、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的扩散炉降温炉体，还存在一些不足之处：现有采用水冷对空气进行冷却降温，而后将冷空气导入炉体内进行降温的方式，其冷空气降温的方式，一方面存在降温效率较慢、降温耗时较长的问题，...
【技术保护点】
1.一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，包括炉体组件和水冷降温组件，所述炉体组件的进水口与分流管(5)导通相连，且分流管(5)的管道中部导通连接有与水冷降温组件导通相连的冷却管(4)，所述炉体组件的排水口与回流管(6)导通相连，且炉体组件通过回流管(6)与水冷降温组件导通相连；
2.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，所述导流板(11)为螺旋板结构，且两组导流板(11)的螺旋板相对于加热炉体(10)的中心呈正、反向对称排列设置。
3.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，所述炉罩(1...
【技术特征摘要】
1.一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，包括炉体组件和水冷降温组件，所述炉体组件的进水口与分流管(5)导通相连，且分流管(5)的管道中部导通连接有与水冷降温组件导通相连的冷却管(4)，所述炉体组件的排水口与回流管(6)导通相连，且炉体组件通过回流管(6)与水冷降温组件导通相连；
2.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，所述导流板(11)为螺旋板结构，且两组导流板(11)的螺旋板相对于加热炉体(10)的中心呈正、反向对称排列设置。
3.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，其特征在于，所述炉罩(1)的罩体上部位于两端位置处均设置有与导流板(11)相对的分流阀(12)，所述分流阀(12)通过分流管(5)与冷却管(4)导通相连，且冷却管(4)的管道另一端与安装于第二风冷箱(8)箱底的循环水泵(23)...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵海军，孟庆昌，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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