【技术实现步骤摘要】
本技术涉及，特别涉及一种适用于扩散炉的一体式外点火装置。
技术介绍
1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，而在扩散工艺中，需要使用氢氧燃烧进行湿氧氧化，其通常采用外点火装置实施体现，如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了适用于扩散炉的一体式外点火装置(公开公告号cn206637655u)，此类装置在组装使用时，将石英管与s弯管的组合与石英泡导通相连，且将s弯管与石英泡之间设计成一体式结构，而后将直管与小炉体的组合与石英泡相连，使注入器插入直管并与石英泡腔体贯通，完成其一体装配工作，其通过改进石英与石英之间的连接方式，并且将石英泡和s弯这种分体结构集成为一体结构，有效的减少了工艺过程中气体泄露，增加了参数稳定性。
2、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的扩散炉外点火装置，还存在一些不足之处：现有各导通部件相连构成一体结构的方式，其连接节点较多，一体模块化性能较差，各连接节点之间极易受到外界因素干扰，导致...
【技术保护点】
1.一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，包括呈对合封盖的两组密封罩(1)；
2.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述点火机构(2)与石英管(3)的风管均插放于石英泡(4)的泡体腔室内部。
3.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述石英泡(4)的泡体外侧开设有与冷却盘管(5)相适配的内凹槽，所述冷却盘管(5)为螺旋管结构。
4.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述密封包垫(6)为岩棉板材料、聚氨酯发泡材料、陶瓷纤维材料
【技术特征摘要】
1.一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，包括呈对合封盖的两组密封罩(1)；
2.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述点火机构(2)与石英管(3)的风管均插放于石英泡(4)的泡体腔室内部。
3.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述石英泡(4)的泡体外侧开设有与冷却盘管(5)相适配的内凹槽，所述冷却盘管(5)为螺旋管结构。
4.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述密封包垫(6)为岩棉板材料、聚氨酯发泡材料、陶瓷纤维材料的一种。
5.根据权利要求1所述的一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，其特征在于，所述点火机构(2)包括氢气环管(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆昌，赵海军，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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