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本技术涉及技术领域，公开了一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，所述石英泡的管口一端导通设置有贯通密封罩的点火机构，且石英泡的管口另一端导通设置有贯通密封罩的石英管，所述石英泡的泡体外侧环绕有冷却盘管，所述密封罩的腔室内部填放有包套点火机构、...
该专利属于青岛海通达微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛海通达微电子有限公司授权不得商用。

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