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本技术涉及扩散炉技术领域，公开了一种卧式扩散炉快速水冷降温炉体，所述炉体组件的进水口与分流管导通相连，且分流管的管道中部导通连接有与水冷降温组件导通相连的冷却管，所述炉体组件的排水口与回流管导通相连，且炉体组件通过回流管与水冷降温组件导通相...
该专利属于青岛海通达微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛海通达微电子有限公司授权不得商用。

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