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本技术涉及废气净化技术领域，公开了一种用于扩散炉的废气排放装置，所述冷却罐的罐体上端导通连接有进气组件，所述冷却罐的罐体内部安装有导热换热组件，所述喷淋罐的罐体底部安装有延伸其内部的雾化喷淋组件，且喷淋罐的罐体内部安装有贯通喷淋罐的排气管。...
该专利属于青岛海通达微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛海通达微电子有限公司授权不得商用。

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