一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器制造技术

技术编号:43283533 阅读:33 留言:0更新日期:2024-11-12 16:06
本技术公开了一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,包括两个发热块,所述发热块一端安装固定块,发热块另一端对称安装搭接块和卡接块,固定块远离发热块一端开设插槽,插槽内壁对称开设限位槽,限位槽远离插槽一端开设通孔一,固定块侧面对应通孔一的位置安装固定罩一,固定罩一内部滑动连接拉块一,拉块一靠近限位槽一端安装定位块一,拉块一远离限位槽一端安装拉杆一。本技术采用碳碳复合材料提高强度和抗热冲击性能,发热块和连接块拆可拆卸连接,使得电极连接块或发热块损坏时,可以单独将连接块和发热块拆卸下来进行更换,避免底加热器的整体更换,提高底加热器的使用寿命,降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制造领域,具体涉及一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器


技术介绍

1、低成本、高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力。直拉单晶硅的生长过程中首先要将多晶硅原料装于石英坩锅内并在1420℃以上的温度下熔融,温度稳定到目标温度后将确定晶向的单晶硅籽晶与熔体熔接后引晶,再经过放肩、转肩、等径、收尾、冷却等工序完成单晶硅的的生长过程,其整个过程在单晶加热炉内完成。

2、单晶炉使用的热场包括主加热器和底加热器,目前单晶炉热场中使用的底加热器为一体式结构,一体式结构的底加热器与电极的连接位置处易损坏,与电极的连接位置处易损坏一旦有某个位置损坏就无法使用,只能更换,由于一体式结构单个成本高。因此,本领域技术人员提供了一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本技术提供一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,包括两个发热块,所述发热块一端安装固定块,发热块另一端对称安装搭接块和卡接块,固定块远离发热块一端开设插槽,插槽内壁对称开设限位槽,限位槽远离插槽一端开设通孔一,固定块侧面对应通孔一的位置安装固定罩一,固定罩一内部滑动连接拉块一,拉块一靠近限位槽一端安装定位块一,拉块一远离限位槽一端安装拉杆一,拉杆一外表面安装弹簧一,插槽内设置连接块,连接块侧面对称安装限位块,限位块远离连接块一端开设定位槽一,连接块内部开设连接孔;

2、搭接块上端开设卡接槽,卡接槽侧面开设通孔二,搭接块侧面对应通孔二的位置安装固定罩二,固定罩二内部滑动连接拉块二,拉块二靠近卡接槽一端安装定位块二,拉块二远离卡接槽一端安装拉杆二,拉杆二外表面套设弹簧二,卡接块侧面开设定位槽二,且定位槽二对应定位块二的位置。

3、优选的:所述定位块一远离发热块一端面为弧面,定位块二上端面为弧面。

4、优选的:所述拉杆一穿过固定罩一并安装拉板一。

5、优选的:所述卡接槽呈t型,卡接块呈t型。

6、优选的:所述拉杆二一端穿过固定罩二并安装拉板二。

7、优选的:所述发热块、固定块、连接块、搭接块和卡接块材质均为碳碳复合材料。

8、本技术的技术效果和优点:

9、本技术采用碳碳复合材料提高强度和抗热冲击性能,发热块和连接块拆可拆卸连接,使得电极连接块或发热块损坏时,可以单独将连接块和发热块拆卸下来进行更换,避免底加热器的整体更换,提高底加热器的使用寿命,降低使用成本。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,包括两个发热块(1),其特征在于,所述发热块(1)一端安装固定块(2),发热块(1)另一端对称安装搭接块(16)和卡接块(25),固定块(2)远离发热块(1)一端开设插槽(3),插槽(3)内壁对称开设限位槽(4),限位槽(4)远离插槽(3)一端开设通孔一(5),固定块(2)侧面对应通孔一(5)的位置安装固定罩一(6),固定罩一(6)内部滑动连接拉块一(7),拉块一(7)靠近限位槽(4)一端安装定位块一(8),拉块一(7)远离限位槽(4)一端安装拉杆一(9),拉杆一(9)外表面安装弹簧一(10),插槽(3)内设置连接块(12),连接块(12)侧面对称安装限位块(13),限位块(13)远离连接块(12)一端开设定位槽一(14),连接块(12)内部开设连接孔(15);

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,其特征在于,所述定位块一(8)远离发热块(1)一端面为弧面,定位块二(21)上端面为弧面。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,其特征在于,所述拉杆一(9)穿过固定罩一(6)并安装拉板一(11)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,其特征在于,所述卡接槽(17)呈T型,卡接块(25)呈T型。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,其特征在于,所述拉杆二(22)一端穿过固定罩二(19)并安装拉板二(24)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,其特征在于,所述发热块(1)、固定块(2)、连接块(12)、搭接块(16)和卡接块(25)材质均为碳碳复合材料。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器,包括两个发热块(1),其特征在于,所述发热块(1)一端安装固定块(2),发热块(1)另一端对称安装搭接块(16)和卡接块(25),固定块(2)远离发热块(1)一端开设插槽(3),插槽(3)内壁对称开设限位槽(4),限位槽(4)远离插槽(3)一端开设通孔一(5),固定块(2)侧面对应通孔一(5)的位置安装固定罩一(6),固定罩一(6)内部滑动连接拉块一(7),拉块一(7)靠近限位槽(4)一端安装定位块一(8),拉块一(7)远离限位槽(4)一端安装拉杆一(9),拉杆一(9)外表面安装弹簧一(10),插槽(3)内设置连接块(12),连接块(12)侧面对称安装限位块(13),限位块(13)远离连接块(12)一端开设定位槽一(14),连接块(12)内部开设连接孔(15);

2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹朝洁
申请(专利权)人:安徽弘朗炭科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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