【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉,具体为一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉。
技术介绍
1、晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视,特别是发达国家制定了一系列的扶持政策,鼓励开发利用太阳能,单晶生产为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,单晶生产生长技术有两种:一种是区熔法,另一种是直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法,单晶硅棒在生产的时候需要注入氩气,在单晶生产内通入氩气是为了避免晶棒在拉晶生长过程中被氧化,单晶硅棒在生产的时候,随着晶棒的不断生长,尤其是到后期,只需较少的氩气,现有单晶硅棒生产制的过程中,氩气的通气量是稳定不变的,但是现有单晶硅棒生产的氩气管上没有设置可以调节氩气流量的装置,因此,我们提出一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体
...【技术保护点】
1.一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)右侧壁设有控制器(2),所述炉体(1)右侧设有储氩罐(4),其特征在于:所述炉体(1)右侧壁设有盒体(7),所述盒体(7)右侧壁设有抽气泵(6),所述抽气泵(6)进气端连接设有输送管(5),所述输送管(5)一端与储氩罐(4)内部相连接,所述盒体(7)内设有控制盒(11),所述控制盒(11)右侧壁贯穿连通设有第一输气管(10),所述第一输气管(10)一端与抽气泵(6)出气端相连接,所述控制盒(11)左侧壁贯穿连通设有第二输气管(9),所述第二输气管(9)一端贯穿盒体(7)内左侧壁与炉体(1)右侧壁与炉
...【技术特征摘要】
1.一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)右侧壁设有控制器(2),所述炉体(1)右侧设有储氩罐(4),其特征在于:所述炉体(1)右侧壁设有盒体(7),所述盒体(7)右侧壁设有抽气泵(6),所述抽气泵(6)进气端连接设有输送管(5),所述输送管(5)一端与储氩罐(4)内部相连接,所述盒体(7)内设有控制盒(11),所述控制盒(11)右侧壁贯穿连通设有第一输气管(10),所述第一输气管(10)一端与抽气泵(6)出气端相连接,所述控制盒(11)左侧壁贯穿连通设有第二输气管(9),所述第二输气管(9)一端贯穿盒体(7)内左侧壁与炉体(1)右侧壁与炉体(1)内部相连通,所述控制盒(11)内设有控制组件(8)。
2.根据权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述控制组件(8)包括控制盒(11)内设有的密封板(85),所述密封板(85)右侧壁与第一输气管(10)左侧壁相接触,所述密封板(85)顶部活动贯穿控制盒(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成,戚建静,徐芳,
申请(专利权)人:江苏晶品新能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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