【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉,具体为一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉。
技术介绍
1、晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视,特别是发达国家制定了一系列的扶持政策,鼓励开发利用太阳能,单晶生产为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,单晶生产生长技术有两种:一种是区熔法,另一种是直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法,单晶硅棒在生产的时候需要注入氩气,在单晶生产内通入氩气是为了避免晶棒在拉晶生长过程中被氧化,单晶硅棒在生产的时候,随着晶棒的不断生长,尤其是到后期,只需较少的氩气,现有单晶硅棒生产制的过程中,氩气的通气量是稳定不变的,但是现有单晶硅棒生产的氩气管上没有设置可以调节氩气流量的装置,因此,我们提出一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体,所述炉体右侧壁设有控制器,所述炉体右侧设有储氩罐,所述炉体右侧壁设有盒体,所述盒体右侧壁设有抽气泵,所述抽气泵进气端连接设有输送管,所述输送管一端与储氩罐内部相连接,所述盒体内设有控制盒,所述控制盒右侧壁贯穿连通设有第一输气管,所述第一输气管一端与抽气泵出气端相连接,所述控制盒左侧壁贯穿连通设有第二输气管,所述第二输气管一端贯穿盒体内左侧壁与炉体右侧壁与炉体内部相连通,所述控制盒内设有控制组件。
3、进一步地,所述控制组件包括控制盒内设有的密封板,所述密封板右侧壁与第一输气管左侧壁相接触,所述密封板顶部活动贯穿控制盒内顶部与盒体内设有的安装板相连接,所述安装板顶部设有活动杆,所述活动杆一端贯穿盒体内顶部与外部设有的连接板相连接,所述盒体顶部设有电动伸缩杆,电动伸缩杆一端与连接板底部相连接。
4、进一步地,所述盒体内顶部设有限位杆。
5、进一步地,所述控制盒内上下侧壁均设有导流板,两组导流板与第二输气管相匹配。
6、进一步地,所述第二输气管与控制盒内左侧壁处于同一水平面上。
7、进一步地,所述炉体右侧壁设有安装杆,所述安装杆一端与储氩罐底部相连接。
8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:本实用在控制组件的配合下能够氩气进入到炉体内的流量进行控制,从而能够对氩气流量进行调节,使用方便。
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1.一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)右侧壁设有控制器(2),所述炉体(1)右侧设有储氩罐(4),其特征在于:所述炉体(1)右侧壁设有盒体(7),所述盒体(7)右侧壁设有抽气泵(6),所述抽气泵(6)进气端连接设有输送管(5),所述输送管(5)一端与储氩罐(4)内部相连接,所述盒体(7)内设有控制盒(11),所述控制盒(11)右侧壁贯穿连通设有第一输气管(10),所述第一输气管(10)一端与抽气泵(6)出气端相连接,所述控制盒(11)左侧壁贯穿连通设有第二输气管(9),所述第二输气管(9)一端贯穿盒体(7)内左侧壁与炉体(1)右侧壁与炉体(1)内部相连通,所述控制盒(11)内设有控制组件(8)。
2.根据权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述控制组件(8)包括控制盒(11)内设有的密封板(85),所述密封板(85)右侧壁与第一输气管(10)左侧壁相接触,所述密封板(85)顶部活动贯穿控制盒(11)内顶部与盒体(7)内设有的安装板(84)相连接,所述安装板(84)顶部设有活动杆(82),所述活动杆(82)一端贯穿
3.根据权利要求2所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述盒体(7)内顶部设有限位杆(83)。
4.根据权利要求2所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述控制盒(11)内上下侧壁均设有导流板(86),两组导流板(86)与第二输气管(9)相匹配。
5.根据权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述第二输气管(9)与控制盒(11)内左侧壁处于同一水平面上。
6.根据权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述炉体(1)右侧壁设有安装杆(3),所述安装杆(3)一端与储氩罐(4)底部相连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)右侧壁设有控制器(2),所述炉体(1)右侧设有储氩罐(4),其特征在于:所述炉体(1)右侧壁设有盒体(7),所述盒体(7)右侧壁设有抽气泵(6),所述抽气泵(6)进气端连接设有输送管(5),所述输送管(5)一端与储氩罐(4)内部相连接,所述盒体(7)内设有控制盒(11),所述控制盒(11)右侧壁贯穿连通设有第一输气管(10),所述第一输气管(10)一端与抽气泵(6)出气端相连接,所述控制盒(11)左侧壁贯穿连通设有第二输气管(9),所述第二输气管(9)一端贯穿盒体(7)内左侧壁与炉体(1)右侧壁与炉体(1)内部相连通,所述控制盒(11)内设有控制组件(8)。
2.根据权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,其特征在于:所述控制组件(8)包括控制盒(11)内设有的密封板(85),所述密封板(85)右侧壁与第一输气管(10)左侧壁相接触,所述密封板(85)顶部活动贯穿控制盒(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成,戚建静,徐芳,
申请(专利权)人:江苏晶品新能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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