一种单晶炉水冷隔热结构制造技术

技术编号:43281860 阅读:47 留言:0更新日期:2024-11-12 16:05
本技术公开了一种单晶炉水冷隔热结构,包括注水环、上通水板、侧壁通水板、下通水板和回水管,注水环设有注水口,上通水板内部设有上水槽,注水环与上水槽连通,侧壁通水板内部设有侧壁水槽,下通水板内部设有下水槽,侧壁水槽上下两端分别与上水槽和下水槽连通,回水管与下水槽的中部连通,注水环安装有位于注水口和上水槽之间的上过滤件,下通水板安装有位于侧壁水槽和回水管之间下过滤件。本技术取得的有益效果:通过水吸收上通水板、侧壁通水板、下通水板和炉体上的热量,从而能够起到降低炉体表面温度的作用,起到控温和隔热的效果,达到单晶炉表面温度较低的优点,避免人员被烫伤,安全性和单晶炉稳定性较好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及隔热结构的,具体涉及一种单晶炉水冷隔热结构


技术介绍

1、单晶炉是一种采用直拉法生产圆柱形单晶晶锭,能够用于高纯度金属的生产。单晶炉在使用过程中,需要使单晶炉内的金属熔化,将晶种置于一根精确定向的棒的末端,并使末端浸入熔融状态的金属中,然后,将棒缓慢地向上提拉,就可以在棒的末端得到一根圆柱体状的单晶晶锭。

2、公告号为cn215366058u的中国技术公开了一种单晶炉,包括炉体,所述炉体内设有一盖板,所述盖板将所述炉体分为上炉室和位于所述上炉室下方的下炉室,所述上炉室的所述盖板上设有导流筒,所述下炉室内设置有坩埚,所述坩埚位于所述导流筒的下方,其中所述上炉室的内壁上设有吸热材质形成的吸热涂层。棒表面的积攒的热量经由导流筒传输至具有吸热涂层的上炉室,很大程度上增大了晶棒边缘区域的轴向温度差g,而晶棒中心区域的轴向温度差基本不变,这使得δg变小,这有益于晶棒的无缺陷生长,使得晶棒的轴向温度差g的可调节范围变广,进而可以调节δg接近于理想值,提高晶棒的整体品质。

3、由于单晶炉在使用过程中内部需要长时间保持较高的温度,长时间使本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉水冷隔热结构,其特征在于:包括注水环(11)、上通水板(12)、侧壁通水板(13)、下通水板(14)和回水管(31),所述注水环(11)设有注水口(21),所述上通水板(12)内部设有上水槽(22),所述注水环(11)与上水槽(22)连通,所述侧壁通水板(13)内部设有侧壁水槽(23),所述下通水板(14)内部设有下水槽(24),所述侧壁水槽(23)上下两端分别与上水槽(22)和下水槽(24)连通,所述回水管(31)与下水槽(24)的中部连通,所述注水环(11)安装有位于注水口(21)和上水槽(22)之间的上过滤件(15),所述下通水板(14)安装有位于侧壁水槽(23)和回...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉水冷隔热结构,其特征在于:包括注水环(11)、上通水板(12)、侧壁通水板(13)、下通水板(14)和回水管(31),所述注水环(11)设有注水口(21),所述上通水板(12)内部设有上水槽(22),所述注水环(11)与上水槽(22)连通,所述侧壁通水板(13)内部设有侧壁水槽(23),所述下通水板(14)内部设有下水槽(24),所述侧壁水槽(23)上下两端分别与上水槽(22)和下水槽(24)连通,所述回水管(31)与下水槽(24)的中部连通,所述注水环(11)安装有位于注水口(21)和上水槽(22)之间的上过滤件(15),所述下通水板(14)安装有位于侧壁水槽(23)和回水管(31)之间下过滤件(16)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉水冷隔热结构,其特征在于:还包括水泵(32)、循环水管(33)和进水管(35),所述水泵(32)的进水端和出水端分别与回水管(31)和循环水管(33)连通,所述循环水管(33)连通有循环水箱(34),所述循环水箱(34)与进水管(35)连通,所述进水管(35)与注水口(21)连通。

3.根据权利要求2所述的单晶炉水冷隔热结构,其特征在于:所述回水管(31)套设有导热套(41),所述导热套(41)固定连接有多个散热片(42)。

4.根据权利要求3所述的单晶炉水冷隔热结构,其特征在于:所述回水管(31)设有热风箱(43),所述散热片(42)位于热风箱(43)内,所述热风箱(43)连通有排风道(44),所述热风箱(43)远离排风道(44)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵跃华张光龙黄文周聂旭林兰华洲
申请(专利权)人:广西铟泰科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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