一种新型结构的单晶炉制造技术

技术编号:43276253 阅读:46 留言:0更新日期:2024-11-12 16:01
本技术涉及一种新型结构的单晶炉,解决现有技术存在主炉室、副炉室上的移动装置和升降装置运行不稳定、可靠性低、容易晃动影响晶体形成质量等问题,采用的技术方案:包括基座,主炉室、副炉室,及用于移动所述主炉室、所述副炉室的移动装置和升降装置,所述移动装置设置在所述基座上,其特征在于所述移动装置为平移装置,所述升降装置设置在所述平移装置上,所述平移装置和所述升降装置上的动力机构分别为第一电机丝杆驱动机构和第二电机丝杆驱动机构。其效果:采用平移装置移动,避免晃动,有利于提高晶体形成质量;采用电机丝杆驱动,有利于降低设备成本,并有利于提高设备运行稳定性,减少维修几率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉,尤其涉及一种新型结构的单晶炉


技术介绍

1、单晶炉通常包括主炉室、副炉室,用于移动主炉室、副炉室的转动装置和升降装装,转动装置将副炉室移至主炉室正上方或从主炉室正上方移开,用于副炉室取晶;或者,转动装置将主炉室移开进行清理等操作。升降装置用于使副炉室下降于与主炉室扣合或者将副炉室从主炉室上移开;或者,升降装置将主移开或将主炉室移至主炉室工作位。

2、目前,旋转装置往往采用齿轮啮合的方式驱动,存在齿轮间隙大、啮合不到位,齿轮容易卡死,增加了停机维修几率,也增加了维修的人力物力成本;而且也容易产生晃动情况,在转动副炉室过程中,晃动将对副炉室内的晶体产生不利影响。升降装置上的动力机构大多采用液压驱动机构,液压驱动机构存在成本比较高的问题,后期维护也不是很方便。


技术实现思路

1、本技术的目的在于解决现有技术存在的上述问题而提供一种新型结构的单晶炉,/3

2、本技术的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的:一种新型结构的单晶炉,包括基座,主炉室、副炉室,及用于移动所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种新型结构的单晶炉,包括基座,主炉室(1)、副炉室(2),及用于移动所述主炉室(1)、所述副炉室(2)的移动装置和升降装置,所述移动装置设置在所述基座上,其特征在于所述移动装置为平移装置,所述升降装置设置在所述平移装置上,所述平移装置和所述升降装置上的动力机构分别为第一电机丝杆驱动机构和第二电机丝杆驱动机构。

2.根据权利要求1所述的新型结构的单晶炉,其特征在于所述基座上设有竖向支撑结构(3)、设置在所述竖向支撑结构(3)上的横向平移台(4),所述平移装置设置在所述横向平移台(4)上,所述平移装置至少为两组,每组所述平移装置上均设置一组升降装置,一组所述升降装置上设置所...

【技术特征摘要】

1.一种新型结构的单晶炉,包括基座,主炉室(1)、副炉室(2),及用于移动所述主炉室(1)、所述副炉室(2)的移动装置和升降装置,所述移动装置设置在所述基座上,其特征在于所述移动装置为平移装置,所述升降装置设置在所述平移装置上,所述平移装置和所述升降装置上的动力机构分别为第一电机丝杆驱动机构和第二电机丝杆驱动机构。

2.根据权利要求1所述的新型结构的单晶炉,其特征在于所述基座上设有竖向支撑结构(3)、设置在所述竖向支撑结构(3)上的横向平移台(4),所述平移装置设置在所述横向平移台(4)上,所述平移装置至少为两组,每组所述平移装置上均设置一组升降装置,一组所述升降装置上设置所述副炉室(2),另一组所述升降装置上设置抓夹机构(24),所述抓夹机构(24)用于抓持所述主炉室(1)。

3.根据权利要求2所述的新型结构的单晶炉,其特征在于每组所述平移装置还包括平移架(5)和设置在所述平移架(5)的底部的第一直线导轨副(6);所述横向平移台(4)上设置第二直线导轨副(7),所述第二直线导轨副(7)和所述第一直线导轨副(6)形成导向配合,用于对所述平移装置进行导向;所述第一电机丝杆驱动机构包括设置在所述平移架(5)上的第一螺母(8),设置在所述横向平移台(4)上的第一电机组件(9),与所述第一电机组件(9)的输出轴连接的第一丝杆(10),所述第一螺母(8)套置在所述第一丝杆(10)上并形成螺接,使所述第一电机组件(9)的动力驱动所述平移装置平移。

4.根据权利要求3所述的新型结构的单晶炉,其特征在于各组所述平移装置上的第一直线导轨副(6)均与所述第二直线导轨副(7)配合,各组所述第一电机丝杆驱动机构均平行于所述第一直线导轨副(6)和所述第二直线导轨设置,且各组所述第一电机丝杆驱动机构错位设置。

5.根据权利要求4所述的新型结构的单晶炉,其特征在于所述平移架(5)包括横向平移部(11)和竖向固定部(12),所述横向平移部(11)与所述横向平移台(4)配合,所述竖向固定部(12)竖向设置在所述横向平移台(4...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁华中朱一鸣谢剑舟来迪文史冰冰
申请(专利权)人:浙江精工新能源装备有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1