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本技术涉及一种新型结构的单晶炉,解决现有技术存在主炉室、副炉室上的移动装置和升降装置运行不稳定、可靠性低、容易晃动影响晶体形成质量等问题,采用的技术方案:包括基座,主炉室、副炉室,及用于移动所述主炉室、所述副炉室的移动装置和升降装置,所述移...该专利属于浙江精工新能源装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江精工新能源装备有限公司授权不得商用。
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本技术涉及一种新型结构的单晶炉,解决现有技术存在主炉室、副炉室上的移动装置和升降装置运行不稳定、可靠性低、容易晃动影响晶体形成质量等问题,采用的技术方案:包括基座,主炉室、副炉室,及用于移动所述主炉室、所述副炉室的移动装置和升降装置,所述移...