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一种单晶炉水冷隔热结构制造技术
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下载一种单晶炉水冷隔热结构的技术资料
文档序号:43281860
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本技术公开了一种单晶炉水冷隔热结构,包括注水环、上通水板、侧壁通水板、下通水板和回水管,注水环设有注水口,上通水板内部设有上水槽,注水环与上水槽连通,侧壁通水板内部设有侧壁水槽,下通水板内部设有下水槽,侧壁水槽上下两端分别与上水槽和下水槽连...
该专利属于广西铟泰科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广西铟泰科技有限公司授权不得商用。
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