一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场制造技术

技术编号:32056105 阅读:15 留言:0更新日期:2022-01-27 14:54
本实用新型专利技术涉及石墨热场的技术领域,特别是涉及一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,其提高取用石墨热场的便利性,省时省力,提高更换效率;包括存放箱、四组支腿、密封盖、传动箱、两组转轴、两组滑轮、四组动滑轮、存放架、钢丝绳和石墨热场,存放箱底端和支腿顶端固定连接,存放箱顶端设有开口,密封盖安装在存放箱顶端,传动箱固定安装在存放箱后端,传动箱内设有驱动机构,存放箱的左右两端均设有固定板,两组转轴分别转动安装在两组固定板和传动箱之间,两组滑轮固定套设在两组转轴上,四组动滑轮分别安装在存放箱两侧的内壁和外壁上,存放箱的左右两端均设有一组开口,存放架位于存放箱内,存放架的左右两端均设有连接板。存放架的左右两端均设有连接板。存放架的左右两端均设有连接板。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场


[0001]本技术涉及石墨热场的
,特别是涉及一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质,单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。石墨热场,简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。石墨热场在长时间使用后,为了确保加热效果,需要对其定期进行更换,石墨热场成批放置在存放箱中,然而现有的存放箱取用不方便,导致更换效率较低。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题,本技术提供一种提高取用石墨热场的便利性,省时省力,提高更换效率的半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场。
[0004]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,包括存放箱、四组支腿、密封盖、传动箱、两组转轴、两组滑轮、四组动滑轮、存放架、钢丝绳和石墨热场,存放箱底端和支腿顶端固定连接,存放箱顶端设有开口,密封盖安装在存放箱顶端,传动箱固定安装在存放箱后端,传动箱内设有驱动机构,存放箱的左右两端均设有固定板,两组转轴分别转动安装在两组固定板和传动箱之间,两组滑轮固定套设在两组转轴上,四组动滑轮分别安装在存放箱两侧的内壁和外壁上,存放箱的左右两端均设有一组开口,存放架位于存放箱内,存放架的左右两端均设有连接板,两组钢丝绳分别穿过两组动滑轮并固定在两组滑轮和连接板上,存放架内设有多组放置板,放置板顶端设有托盘架,石墨热场通过托盘架倒扣放置在放置板上。
[0005]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,所述驱动机构包括主动轴、从动轴、两组皮带轮和皮带,主动轴转动穿过传动箱顶端,从动轴转动安装在传动箱顶端,主动轴顶端设有手轮,两组皮带轮分别固定套设在主动轴和从动轴上,两组皮带轮之间通过皮带传动连接,主动轴底端、从动轴底端和两组转轴右端均设有锥形齿轮,并且相邻两组锥形齿轮之间啮合。
[0006]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括四组脚轮,四组脚轮分别固定安装在四组支腿底端。
[0007]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括手推杆,手推杆固定安装在存放箱前端。
[0008]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括防滑把套,防滑把套固定套设在手推杆上。
[0009]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括观察窗,观察窗固定安装在存放箱前端。
[0010]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括把手,把手固定安装在密封盖顶端。
[0011]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括四组横梁,四组横梁分别固定安装在相邻两组支腿之间。
[0012]与现有技术相比本技术的有益效果为:取用石墨热场时,首先打开密封盖,启动驱动机构,传动带动两组转轴和两组滑轮转动,并收卷两组钢丝绳,使存放架从存放箱内升起,使石墨热场露出存放箱,之后将所需的石墨热场取出即可,取完之后,再启动驱动机构,带动两组转轴反方向转动,放卷两组钢丝绳,使存放架下沉到存放箱内,再盖好密封盖即可,通过上述设置,提高取用石墨热场的便利性,省时省力,提高更换效率。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图;
[0014]图2是图1的剖面结构示意图;
[0015]图3是图1的右视局部剖面结构示意图;
[0016]图4是手轮和主动轴等连接的剖面结构示意图;
[0017]图5是存放架和放置板等连接的俯视结构示意图;
[0018]附图中标记:1、存放箱;2、支腿;3、密封盖;4、传动箱;5、固定板;6、转轴;7、滑轮;8、动滑轮;9、存放架;10、连接板;11、钢丝绳;12、放置板;13、石墨热场;14、主动轴;15、从动轴;16、手轮;17、皮带轮;18、皮带;19、锥形齿轮;20、脚轮;21、手推杆;22、防滑把套;23、观察窗;24、把手;25、横梁。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例,对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术,但不用来限制本技术的范围。
[0020]如图1至图5所示,本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,包括存放箱1、四组支腿2、密封盖3、传动箱4、两组转轴6、两组滑轮7、四组动滑轮8、存放架9、钢丝绳11和石墨热场13,存放箱1底端和支腿2顶端固定连接,存放箱1顶端设有开口,密封盖3安装在存放箱1顶端,传动箱4固定安装在存放箱1后端,传动箱4内设有驱动机构,存放箱1的左右两端均设有固定板5,两组转轴6分别转动安装在两组固定板5和传动箱4之间,两组滑轮7固定套设在两组转轴6上,四组动滑轮8分别安装在存放箱1两侧的内壁和外壁上,存放箱1的左右两端均设有一组开口,存放架9位于存放箱1内,存放架9的左右两端均设有连接板10,两组钢丝绳11分别穿过两组动滑轮8并固定在两组滑轮7和连接板10上,存放架9内设有多组放置板12,放置板12顶端设有托盘架,石墨热场13通过托盘架倒扣放置在放置板12上;取用石墨热场13时,首先打开密封盖3,启动驱动机构,传动带动两组转轴6和两组滑轮7转动,并收卷两组钢丝绳11,使存放架9从存放箱1内升起,使石墨热场13露出存放箱1,之后将所需的石墨热场13取出即可,取完之后,再启动驱动机构,带动两组转轴6反方向转动,放卷两组钢丝绳11,使存放架9下沉到存放箱1内,再盖好密封盖3即可,通过上述设置,提高取用石墨热场13的便利性,省时省力,提高更换效率。
[0021]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,所述驱动机构包括主动轴
14、从动轴15、两组皮带轮17和皮带18,主动轴14转动穿过传动箱4顶端,从动轴15转动安装在传动箱4顶端,主动轴14顶端设有手轮16,两组皮带轮17分别固定套设在主动轴14和从动轴15上,两组皮带轮17之间通过皮带18传动连接,主动轴14底端、从动轴15底端和两组转轴6右端均设有锥形齿轮19,并且相邻两组锥形齿轮19之间啮合;转动手轮16,带动主动轴14转动,同时带动两组皮带轮17和从动轴15转动,并带动两组转轴6和滑轮7转动,便于对钢丝绳11进行收卷和放卷。
[0022]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括四组脚轮20,四组脚轮20分别固定安装在四组支腿2底端;通过设置脚轮20,便于整体装置的移动,提高便利性。
[0023]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括手推杆21,手推杆21固定安装在存放箱1前端;通过设置手推杆21,便于工作人员推动整体装置移动,提高便利性。
[0024]本技术的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,还包括防滑把套22,防滑把套22固定套设在手推杆21上;通过设置防滑把套22,可增大手推杆21的摩擦,防止工作人员推动时手滑,提高稳定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,其特征在于,包括存放箱(1)、四组支腿(2)、密封盖(3)、传动箱(4)、两组转轴(6)、两组滑轮(7)、四组动滑轮(8)、存放架(9)、钢丝绳(11)和石墨热场(13),存放箱(1)底端和支腿(2)顶端固定连接,存放箱(1)顶端设有开口,密封盖(3)安装在存放箱(1)顶端,传动箱(4)固定安装在存放箱(1)后端,传动箱(4)内设有驱动机构,存放箱(1)的左右两端均设有固定板(5),两组转轴(6)分别转动安装在两组固定板(5)和传动箱(4)之间,两组滑轮(7)固定套设在两组转轴(6)上,四组动滑轮(8)分别安装在存放箱(1)两侧的内壁和外壁上,存放箱(1)的左右两端均设有一组开口,存放架(9)位于存放箱(1)内,存放架(9)的左右两端均设有连接板(10),两组钢丝绳(11)分别穿过两组动滑轮(8)并固定在两组滑轮(7)和连接板(10)上,存放架(9)内设有多组放置板(12),放置板(12)顶端设有托盘架,石墨热场(13)通过托盘架倒扣放置在放置板(12)上。2.如权利要求1所述的一种半导体级单晶硅炉超高纯石墨热场,其特征在于,所述驱动机构包括主动轴(14)、从动轴(15)、两组皮带轮(17)和皮带(18),主动轴(14)转动穿过传动箱(4)顶端,从动轴(15)转动安装在传...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹朝洁
申请(专利权)人:安徽弘朗炭科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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