【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路测试,尤其涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。
技术介绍
1、随着科学技术的进步,在半导体集成电路的性能方面,相关的一些行业就提出了很高的要求。这在很大程度上促进了半导体集成电路的发展,整体而言,目前的半导体集成电路的发展的主要目标就是达到高度的准确性,但是随着生产的要求逐渐提高,制造的技术和过程比之前也复杂了很多。所以为了有效监测集成电路是否达到预定的可靠性和稳定性要求并降低生产成本,有必要采用一些方法对于集成电路的可靠性进行一定程度的检测。可靠性在实际的应用过程中产生着非常重要的作用。很多时候,可靠性被用来评估产品能否在规定条件下和规定的时间内完成特定的功能。
2、现有的测试装置在进行测试时,首先需要对芯片放置在操作台上,然后进行测试,在测试过程中,常会因为芯片出现偏移从而导致检测数据不精确,且芯片在处理过程中容易吸附灰尘,不及时清理的情况下也容易导致数据不精确,且现有的检测装置大多都是裸漏在外的,在裸漏的环境下对芯片进行检测,容易出现外界数据干扰,从而导致数据不精确。
>技术实现思路...
【技术保护点】
1.一种应用于探针台的多通道测试装置,包括工作台(1)、检测箱(2)、放置装置(3)、测试装置(4),其特征在于:所述放置装置(3)包括主板(301),所述主板(301)的顶部外壁固定设置有第一挡板(302)、隔板(303)、第二挡板(304)、若干个底板(5),若干个所述底板(5)的顶部外壁均固定设置有放置板(501),每一个所述放置板(501)的顶部外壁均开设有放置槽(502),每一个所述放置板(501)的顶部外壁均固定设置有两个固定块(6),每一个所述固定块(6)的一侧外壁均开设有块槽(607),每一个所述固定块(6)的另一侧外壁均开设有调节槽(601),所述调
...【技术特征摘要】
1.一种应用于探针台的多通道测试装置,包括工作台(1)、检测箱(2)、放置装置(3)、测试装置(4),其特征在于:所述放置装置(3)包括主板(301),所述主板(301)的顶部外壁固定设置有第一挡板(302)、隔板(303)、第二挡板(304)、若干个底板(5),若干个所述底板(5)的顶部外壁均固定设置有放置板(501),每一个所述放置板(501)的顶部外壁均开设有放置槽(502),每一个所述放置板(501)的顶部外壁均固定设置有两个固定块(6),每一个所述固定块(6)的一侧外壁均开设有块槽(607),每一个所述固定块(6)的另一侧外壁均开设有调节槽(601),所述调节槽(601)与块槽(607)连通,每一个所述块槽(607)的内壁均固定设置有连接杆(602),每一个所述连接杆(602)的外壁均滑动设置有两个滑动块(603),每一个所述连接杆(602)的其中一侧外壁均固定设置有调节块(604),每一个所述连接杆(602)的另一侧外壁均固定设置有夹板(606),每一个所述调节块(604)分别在对应调节槽(601)的内部滑动,且延伸至固定块(6)的外侧,两个对应的所述滑动块(603)之间均固定设置有压缩簧(605),所述连接杆(602)位于压缩簧(605)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置,其特征在于:所述工作台(1)的内壁固定设置有固定支架(102),所述固定支架(102)的一侧外壁固定设置有第一连接板(308),所述第一连接板(308)的顶部外壁转动设置有控制链(309),所述第二挡板(304)远离隔板(303)的一侧外壁固定设置有第二连接板(310),所述控制链(309)的另一端与第二连接板(310)转动连接,所述工作台(1)的一侧外壁固定设置有控制按钮(103),所述控制按钮(103)与控制链(309)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置,其特征在于:所述测试装置(4)包括第一滑轨(401)、第二滑轨(404)、气缸(407),所述第一滑轨(401)的外壁固定设置有第一电机(402),所述第一滑轨(401)的外壁滑动设置有第一滑块(403),所述第一滑块(403)与第二滑轨(404)固定连接,所述第二滑轨(404)的外壁固定设置有第二电机(405),所述第二滑轨(404)...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨凯翔,陈朝杰,张文清,
申请(专利权)人:广东万维半导体技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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