利用受控传播的膜层转移制造技术

可以通过提供具有表面区和位于表面区之下预定深度处的解理区来形成材料膜。在将该膜从衬底解理的过程中，解理区中的剪切被严密控制，以通过ＫＩＩ或能量传播控制实现受控的传播。根据特定实施例，通过经由暴露于电子束辐射的硅的隔热加来将面内剪切分量（ＫＩＩ）热保持在零附近。根据其他的实施例，表面加热源结合注入层用于通过按解理顺序引导断裂传播。

【技术实现步骤摘要】
利用受控传播的膜层转移
技术介绍
有史以来，人类都是依赖于“太阳”来得到几乎所有有用形式的能量。这样的能量 来自石油、辐射体、木材以及各种形式的热能。仅举一个例子，人类严重依赖于诸如煤和天 然气这样的石油资源来满足各种需要。遗憾地是，石油资源已逐渐变得耗尽并且产生了一 些其它问题。作为代替品，部分地，太阳能已经被提出用于减少对石油资源的依赖。仅举一 个例子，太阳能可从通常由硅制成的“太阳能电池”得到。当硅太阳能电池暴露于来自太阳的太阳辐射时产生电力。辐射与硅原子相互作用 并形成电子和空穴，它们迁移至硅本体中的P掺杂区和η掺杂区，并在掺杂区之间产生电压 差和电流。太阳能电池已经集成有汇集元件来提高效率。举例来说，太阳辐射利用可引导 此辐射到有源光伏材料的一个或更多个部分的汇集元件来积累和聚集。尽管有效，但是这 些太阳能电池仍然有许多限制。仅举个例子，太阳能电池常常依赖于诸如硅的初始材料。这样的硅一般由多晶 硅和/或单晶硅材料制成。根据单个晶粒的尺寸和结晶度，多晶硅材料也可称为多晶 (multicrystalline)、微晶(microcrystalline)或者纳米晶(nanocrystal本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种从衬底解理材料膜的方法，该方法包括：提供具有面的衬底以及位于该正面之下一深度处的应力层；在该应力层的邻近区域内发起解理；施加外部能量来以受控的方式来利用该应力层传播解理，其中在该应力层之上的传播受ＫＩＩ因子的支持，但是在能量方面不能被支持，使得该应力层用作对在该深度之下传播的阻挡物。

【技术特征摘要】
US 2008-8-28 61/092,683一种从衬底解理材料膜的方法，该方法包括提供具有面的衬底以及位于该正面之下一深度处的应力层；在该应力层的邻近区域内发起解理；施加外部能量来以受控的方式来利用该应力层传播解理，其中在该应力层之上的传播受KII因子的支持，但是在能量方面不能被支持，使得该应力层用作对在该深度之下传播的阻挡物。2.根据权利要求1的方法，其中解理是在该深度的约5%位置处发起的。3.根据权利要求1的方法，其中解理是在该深度的约10%位置处发起的。4.根据权利要求1的方法，进一步包括通过注入粒子形成该应力层。5.根据权利要求4的方法，其中该粒子包括氢或氦。6.根据权利要求1的方法，进一步包括通过沉积形成该应力层。7.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是以两个步骤施加的热能。8.根据权利要求7的方法，其中第一步骤包括用于升高该应力层内的绝对温度的热 浸，而第二步骤包括用于升高该应力层之上的材料与该衬底之间的温度差的热脉冲。9.根据权利要求8的方法，其中热浸和热脉冲步骤的施加时序根据该膜的热时间常数 确定。10.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是以单个步骤施加的热能。11.根据权利要求10的方法，其中该外部热能的施加时序根据该膜的声学时间常数确定。12.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是在比衬底厚度的一半更深的点处施加 的热能，以产生使该膜从该衬底分离的负的力P和正的力矩M。13.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是作为电子束、光子或电磁能施加的热能。14.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是作为作用于该膜上的力矩M和力P施加 的机械能。15.根据权利要求14的方法，其中该机械能是利用该膜的超声激发施加的施加能量。16.根据权利要求14的方法，其中该机械能是通过利用在该膜和该衬底之间插入的楔 形物或线的推动而施加的。17.根据权利要求14的方法，其中该机械能是通过利用从上面对该正面的真空吸取或 静电吸引的牵拉而施加的。18.根据权利要求1的方法，其中该外部能量是给予到裂缝尖端附近的该膜和衬底区 域上的热能和机械能的组合。19....

【专利技术属性】
技术研发人员：FJ亨利，
申请(专利权)人：硅源公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]