测量平面内多轴移动和转动的方法及其装置制造方法及图纸

测量平面内多轴移动和转动的方法及其装置，该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发生移动时，该些感应电流线圈中的磁通量发生改变，从而产生感应电流；利用该些感应电流，测量出外部运动。本发明专利技术可以同时测量平面内多轴线性加速运动和转动，并且感测效果精准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种位移等运动的电子感测装置
，特别是一种可以测量多轴运动和转动的方法及其装置。
技术介绍
微机电加速计是一种用来测量微运动的常用工具，其工作原理是利用微电机(Mi cro-Electro-Mechanical-System， MEMS)技术在硅基上加工出如电容、电感、电阻等电学 量的敏刚探测电路，结合特殊的结构设计，使该些电学量受力可变，当外部运动量对其作用 时，通过测量对应的电学量的改变大小，换算成运动量的改变，继而达到测量的目的。 如图1是一种现有的悬浮式电容加速计，其包含一可动悬浮件11与一固定悬浮件 12，以及外围的电容感测电路(图中未示出)，其可动悬浮件包含多个电极lll，其固定悬浮 件包含多个电极121，电极111与电极121之间形成一个电容103。当电容加速计发生如图 示x轴向运动时，其可动悬浮件11受力运动，使电极111与电极121之间的距离发生改变， 因而电容103发生改变，由外部电路测量出该电容103的变化值，通过一定的换算关系，转 化成运动量的改变数值。 上述电容式加速计，对于单轴线性运动的测量具有精度高，响应快等特点，然则实 际运动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量平面内多轴移动和转动的方法，其特征在于：该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发生移动时，该些感应电流线圈中的磁通量发生改变，从而产生感应电流；利用该些感应电流，测量出外部运动。

【技术特征摘要】
一种测量平面内多轴移动和转动的方法，其特征在于该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发生移动时，该些感应电流线圈中的磁通量发生改变，从而产生感应电流；利用该些感应电流，测量出外部运动。2. 如权利要求1所述的测量平面内多轴移动和转动的方法，其特征在于所述的磁通 量改变是通过改变上述感应电流线圈和驱动电极的重叠面积实现的。3. —种测量平面内多轴移动和转动的装置，其特征在于包括一个可移动电极，所述可移动电极包括一个X轴方向第一回...

【专利技术属性】
技术研发人员：周忠诚，王威，
申请(专利权)人：苏州佳世达电通有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]