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测量平面内多轴移动和转动的方法及其装置，该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发...
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