具电弧控制功能的大气等离子体产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术一种具电弧控制功能的大气等离子体产生装置，包括一外壳、一内电极、一气流控制机构与至少一电弧导引电极。外壳具有相对的一电极设置端与一等离子体出口端。内电极设置在外壳内，并位在电极设置端，其中，内电极连接至一电源供应器。气流控制机构设置在电极设置端，用以在内电极的周边产生一涡漩气流，通过此使内电极产生的电弧集中在外壳内的中央位置，并导引电弧至等离子体出口端。电弧导引电极设置在等离子体出口端，并连接至电源供应器，其中，电弧导引电极具有一尖端是位凸出等离子体出口端的内表面，用以吸引电弧，通过此控制电弧的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种大气等离子体产生装置，且特别是有关于一种具电弧控制功能的大气等离子体产生装置。
技术介绍
等离子体的特性在于其包括中性粒子、活化粒子、电子及离子等的反应，因而能够提供非常广泛的功能。尤其是具有能量的粒子，更是能够引发许多特殊的化学与物理的反应。也由于如此，目前，等离子体已广泛地应用在各种领域，例如在半导体制造方面，举凡不同材料薄膜的成长及电路的刻蚀皆普遍由等离子体技术达成。在半导封装方面，则可见使用等离子体来清洁及改变材料表面，以达到所需的功能及效果。此外，在环保、医疗与光机电等领域中亦可见等离子体的应用。 等离子体源的种类与等离子体产生的形式相关，其包括电感式等离子体源、微波表面波等离子体源、大气等离子体源、等离子体浸没离子布植及等离子体火炬等。大气等离子体源中，由于喷射式大气等离子体的能量集中，可以用于高速处理工件表面以改善表面的亲水特性。然而，当应用在金属材料或是导电材料制作的工件表面时，等离子体所引起的电弧却非常容易会溢散到工件的表面，并损伤工件表面，导致工件不良品的产生，影响到制备工艺良率。
技术实现思路
本专利技术有关于一种具电弧控制功能的大气等离子体产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具电弧控制功能的大气等离子体产生装置，其特征在于包括：一外壳，具有相对的一电极设置端与一等离子体出口端；一内电极，设置在该外壳内，并位在该电极设置端，其中，该内电极连接至一电源供应器；一气流控制机构，设置在该电极设置端，用以在该内电极的周边产生一涡漩气流，通过此使该内电极产生的电弧集中在该外壳内的中央位置，并导引电弧至该等离子体出口端；以及至少一电弧导引电极，设置在该等离子体出口端，并连接至该电源供应器，其中，该至少一电弧导引电极具有一尖端是位于凸出该等离子体出口端的内表面，用以吸引电弧，以控制电弧的位置。

【技术特征摘要】
一种具电弧控制功能的大气等离子体产生装置，其特征在于包括一外壳，具有相对的一电极设置端与一等离子体出口端；一内电极，设置在该外壳内，并位在该电极设置端，其中，该内电极连接至一电源供应器；一气流控制机构，设置在该电极设置端，用以在该内电极的周边产生一涡漩气流，通过此使该内电极产生的电弧集中在该外壳内的中央位置，并导引电弧至该等离子体出口端；以及至少一电弧导引电极，设置在该等离子体出口端，并连接至该电源供应器，其中，该至少一电弧导引电极具有一尖端是位于凸出该等离子体出口端的内表面，用以吸引电弧，以控制电弧的位置。2. 如权利要求1所述的大气等离子体产生装置，其特征在于，该至少一电弧导引电极 是沿着该等离子体出口端的径向插置在该等离子体喷嘴中。3. 如权利要求2所述的大气等离子体产生装置，其特征在于，包括多个电弧导引电极， 该些电弧导引电极是等间隔地插置在该等离子体出口端。4. 如权利要求l所述的大气等离子体产生装置，其特征在于，该内电极连接至该电源 供应器的正极，该至少一电弧导引电极是连接至该电源供应器的负极或一接地端。5. 如权利要求1所述的大气等离子体产生装置，其特征在于，该外壳的材质为金属，该 外壳是连接至该电源供应器，该至少一 电弧导引电极是透过该外壳连接至该电源供应器的 负极或一接地端。6. 如权利要求1所述的大气等离子体产生装置，其特征在于，包括一隔离元件，是设置 在该内电...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴清吉，蔡陈德，许文通，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]