【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电元件，其特征在于，包含：一质量块，其包括主质量部分和位于主质量部分两侧且与主质量部分连接的两电容板结构部份，其中该两电容板结构部份位于不同的高度；一上电极，位于该两电容板结构部份之一的上方，与其构成电容，以及一下电极，位于该两电容板结构部份的另一者的下方，与其构成另一电容，其中该上下电极在水平方向上错开。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李昇达，王传蔚，
申请(专利权)人：原相科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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