微机电传感器装置制造方法及图纸

技术编号:7252429 阅读:203 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微机电传感器装置包含有一载板以及一微机电感测芯片,该芯片的一侧边是由粘胶粘着于该载板,且该芯片具有一悬置于该载板上方并与该侧边相对的自由边。由于该芯片具有一并未拘束于该载板上的自由边,因此纵使载板变形,不致影响悬置于该载板上的感测芯片的量测精度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴名清黄志恭
申请(专利权)人:利顺精密科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术