【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微机电传感器，具体是ー种微机电传感器的内减震装置。技术背景 在需要对微机电系统进行设计中一般都设有微机电系统传感器，例如微机电陀螺仪传感器、加速度传感器、磁场传感器等容易受震动影响的微机电器件，随着测量装置的越来越精确，对传感器测量精度和采用速率也就越来越快，震动产生的影响也相应增大，因此减少微机电传感器系统的震动影响既能保持測量装置的稳定运行和采样数据更加准确，也能固定微机电传感器系统不会在震动过程中随机晃动。现有对微机电传感器系统进行减震方式，一般采用直接接触式减震方法，随着对微机电传感器測量精度參数越来越高，带有粘性的减震胶已经无法满足震动强度大的应用场合了。
技术实现思路
本技术的目的是提供ー种设计简单、结构紧凑、使用方便、成本低且微机电传感器系统输出数据稳定的内减震装置。该装置不仅避免了在剧烈震动时使得传感器数据产生一些奇异信号的输出，内置的海绵也起固定的微机电传感器系统作用。实现本技术目的的技术方案是一种微机电传感器的内减震装置，包括微机电传感器、防滑动底板、姿态测量系统的主控板及挠性印制线路，与现有技术不同的是还设置有上减震凹形海绵和下减震海...
【技术保护点】
一种微机电传感器的内减震装置，包括微机电传感器、防滑动底板、姿态测量系统的主控板及挠性印制线路，其特征是：还设置有上减震凹形海绵和下减震海绵，下减震海绵通过双面贴固定在姿态测量系统的主控板上，微机电传感器通过双面贴悬浮在上减震凹形海绵和下减震海绵之间，上减震凹形海绵与防滑动底板固连，挠性印制线路一端穿过上减震凹形海绵上的凹槽并与微机电传感器连接，另一端与主控板连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：魏承赟，
申请(专利权)人：桂林飞宇电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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