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王传蔚专利技术
王传蔚共有1项专利
互补式金氧半微机电麦克风及其制作方法技术
本发明公开了一种互补式金氧半微机电麦克风及其制作方法,首先,提供一互补式金氧半装置,其包含依序由下而上设置的一半导体基板、一第一氧化绝缘层、一有掺杂多晶硅层、一第二氧化绝缘层、一图案化多晶硅层与一金属布线层,金属布线层设于第二氧化绝缘层...
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