【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及可再生能源,特别是涉及一种等径启动控制方法、一种等径启动控制装置、一种电子设备以及一种存储介质。
技术介绍
1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主,利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。传统的直拉方式中,在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、预调温、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。
2、生产过程中,将原料放在石英坩埚中,在单晶炉中加热熔化。当多晶硅原料融化完成后,还不能马上开始引晶,因为这时的温度要高于引晶温度,还必须经过降温。预调温是将温度调整到一个合适的温度,将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触,将籽晶浸入液面熔接,然后通过调温将温度调整到引晶的温度。引晶是在引晶温度下,让熔体先在籽晶的末端生长进行缩颈排除位错,硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长,从而形成单晶。放肩是在降低加热器功率降低籽晶提拉速度让晶体横向生长,将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径,在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长,直径逐渐变大到要求
...【技术保护点】
1.一种等径启动控制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述拉速变化信息包括拉速变化量,所述直径变化信息包括直径变化量,所述根据所述拉速变化信息和直径变化信息,以及等径目标直径,确定对应的等径启动直径,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述拉速变化量、直径变化量、偏差量的对应关系为:
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述根据所述等径目标直径和所述偏差量,确定所述等径启动直径,包括:
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述控制等径阶段启动之前,所述方法还包
6...
【技术特征摘要】
1.一种等径启动控制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述拉速变化信息包括拉速变化量,所述直径变化信息包括直径变化量,所述根据所述拉速变化信息和直径变化信息,以及等径目标直径,确定对应的等径启动直径,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述拉速变化量、直径变化量、偏差量的对应关系为:
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述根据所述等径目标直径和所述偏差量,确定所述等径启动直径,包括:
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述控制等径阶段启动之前,所述方法还包括:
<...【专利技术属性】
技术研发人员:王正远,郭力,杨正华,李广砥,权甲,
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。