【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅单晶生产,具体涉及直拉法制备矩形硅单晶锭的装置、方法及硅单晶锭。
技术介绍
1、硅单晶是光伏行业制备光伏电池的一种重要材料,通常采用直拉法制备,具体地,将块状多晶硅料放置于坩埚中,加热至熔融,将熔硅调至适合熔接的温度,在惰性气体保护下,使籽晶与熔硅熔接,在籽晶引导下拉制出圆柱形硅单晶棒。
2、现有技术的硅单晶衬底光伏电池片是矩形的,然而现有技术生长的硅单晶锭通常为圆柱状,在将圆柱状硅单晶锭切割成矩形硅单晶片的过程中,有部分弓形柱体的硅单晶较难以利用,降低了硅单晶材料的利用率,且圆柱柱面面积小于同体积矩形柱柱面面积,在直拉法制备圆柱状硅单晶锭时,柱面散热效果较差,限制了拉晶速度和生产效率。
3、已经提出借助于矩形分布的坩埚和分区加热的加热器,在坩埚中形成一个矩形的温度分布平面,以拉制出矩柱形的硅单晶锭;已经提出借助于熔硅坩埚系统在凸起或凹槽处对红外光产生的折射,调整硅单晶棒不同部位的加热强度,控制硅单晶棒形状。然而前者由于在熔硅表面一定厚度内存在x-y两个维度的热对流运动分量,在水平截面为矩形或有凸
...【技术保护点】
1.一种用直拉法制备矩形硅单晶锭的制备装置,包括加热器(1)和坩埚(2),在熔硅表面水平截面内,所述加热器(1)、所述坩埚(2)和硅单晶锭(3)的对称中心相重合,其特征在于,在所述坩埚(2)中熔硅表面内设有两两相对的4组熔硅表面热流导壁,每组所述熔硅表面热流导壁组成一个热流通道,所述热流通道具有第一开口和第二开口,所述第一开口朝向所述坩埚(2)外周的所述加热器(1),所述第二开口朝向硅单晶锭结晶前沿,由各所述热流通道的所述第二开口为直边形成一个出口矩形(4),所述出口矩形(4)的内角与相应的矩柱形的硅单晶锭的棱角的距离D为3mm~100mm。
2.根据权利
...【技术特征摘要】
1.一种用直拉法制备矩形硅单晶锭的制备装置,包括加热器(1)和坩埚(2),在熔硅表面水平截面内,所述加热器(1)、所述坩埚(2)和硅单晶锭(3)的对称中心相重合,其特征在于,在所述坩埚(2)中熔硅表面内设有两两相对的4组熔硅表面热流导壁,每组所述熔硅表面热流导壁组成一个热流通道,所述热流通道具有第一开口和第二开口,所述第一开口朝向所述坩埚(2)外周的所述加热器(1),所述第二开口朝向硅单晶锭结晶前沿,由各所述热流通道的所述第二开口为直边形成一个出口矩形(4),所述出口矩形(4)的内角与相应的矩柱形的硅单晶锭的棱角的距离d为3mm~100mm。
2.根据权利要求1所述的制备装置,其特征在于,所述加热器(1)在所述坩埚(2)外周至少设有4个加热分区,各所述加热分区的加热功率比例是可调的。
3.根据权利要求1所述的制备装置,其特征在于,所述制备装置包括4个分流岛(5),4个所述分流岛(5)呈矩形阵列、横截面中心对称地安装于所述坩埚(2)的底部,每个所述分流岛(5)呈竖直柱状且上端高出熔硅表面,每个所述分流岛(5)具有相对的两个分流岛半柱面(501),所述分流岛半柱面(501)构成所述熔硅表面热流导壁。
4.根据权利要求1所述的制备装置,其特征在于,所述制备装置包括4个分流岛(5),4个所述分流岛(5)呈矩形阵列、横截面中心对称地安装于所述坩埚(2)的上方,每个所述分流岛(5)呈竖直柱状且下端伸入熔硅表面以下,每个所述分流岛(5)具有相对的两个分流岛半柱面(501),所述分流岛半柱面(501)构成所述熔硅表面热流导壁。
5.根据权利要求4所述的制备装置,其特征在于,4个所述分流岛(5)呈矩形阵列、横截面中心对称地安装于所述坩埚(2)上方的旋转机构上,在所述旋转机构的驱动下,4个所述分流岛(5)形成的矩形阵列在熔硅表面水平截面内围绕所述对称中心旋转。
6.根据权利要求4或5所述的制备装置,其特征在于,所述分流岛(...
【专利技术属性】
技术研发人员:李涛勇,李林东,许堃,张鹏,
申请(专利权)人:苏州晨晖智能设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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