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本发明属于单晶硅生产技术领域，具体涉及直拉法制备矩形硅单晶锭的装置、方法及硅单晶锭。装置包括加热器和坩埚，在熔硅表面水平截面内，加热器、坩埚和硅单晶锭的对称中心相重合，在坩埚中熔硅表面内设有两两相对的4组熔硅表面热流导壁，每组熔硅表面热流导...
该专利属于苏州晨晖智能设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晨晖智能设备有限公司授权不得商用。

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