基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片制造技术

本公开提供了一种基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，包括：偏振分束旋转器，用于输入第一横电模偏振光和横磁模偏振光的多波长复合光，将横磁模偏振光转化为第二横电模偏振光，并将第一横电模偏振光和第二横电模偏振光分别输出；2×2N阵列波导光栅，与偏振分束旋转器连接，用于将第一横电模偏振光和第二横电模偏振光分解为N组不同波长的子偏振光，每组子偏振光包括波长相同的第一横电模子偏振光和第二横电模子偏振光；N个波导型探测器，与2×2N阵列波导光栅连接，每个波导型探测器探测每组子偏振光。本公开能够实现多波长光信号的波长分离，具有插入损耗低、偏振相关损耗低、串扰优良的特性。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光通信高速光芯片，尤其涉及一种基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片。

技术介绍

1、随着5g、云计算、chatgpt等人工智能大模型等新型业务的大规模应用和发展，数据中心对流量和带宽的需求急剧增长，这也迫使光通信技术不断向更高速率升级，且这种趋势仍处于攀升状态。光通信的核心技术之一就是波分复用技术，它可以将多个不同波长的光信号复用到一根光纤中，实现光纤的带宽利用率的大幅提升，从而大大增加了光通信系统的传输容量和传输距离。

2、阵列波导光栅(arrayed waveguide grating，awg)作为波分复用技术的核心器件之一，它可以将输入的多波长光信号分别耦合到不同的输出端口，从而实现波长的分离或合成。然而，阵列波导光栅存在一个重要的缺陷，就是偏振敏感性问题，即对不同偏振状态的光信号的响应不同，导致输出信号发生变化，从而影响光通信系统的性能和稳定性。因此，解决阵列波导光栅的偏振敏感性问题，是提高光通信系统的整体性能的重要课题。目前，国内外广泛采取的方案之一是利用偏振分束旋转器(polarization beam spli本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述2×2N阵列波导光栅包括两个输入波导和2N个输出波导，两个所述输入波导相距预设距离，每组所述子偏振光通过相邻两个所述输出波导输出。

3.根据权利要求2所述的基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述2×2N阵列波导光栅的两个所述输入波导的预设距离小于相邻所述第一横电模子偏振光输出波导的波导间距。

4.根据权利要求2所述的基于2×2N阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其...

【技术特征摘要】

1.一种基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述2×2n阵列波导光栅包括两个输入波导和2n个输出波导，两个所述输入波导相距预设距离，每组所述子偏振光通过相邻两个所述输出波导输出。

3.根据权利要求2所述的基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述2×2n阵列波导光栅的两个所述输入波导的预设距离小于相邻所述第一横电模子偏振光输出波导的波导间距。

4.根据权利要求2所述的基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述2×2n阵列波导光栅还包括输入平板波导、阵列波导与输出平板波导，所述输入平板波导、所述阵列波导和所述输出平板波导顺序连接，两个所述输入波导分别与所述输入平板波导间隔连接，2n个所述输出波导分别与所述输出平板波导间隔连接。

5.根据权利要求4所述的基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述输入平板波导与所述输出平板波导为罗兰圆结构。

6.根据权利要求5所述的基于2×2n阵列波导光栅的偏振不敏感光接收芯片，其特征在于，所述罗兰圆结构包括相切的罗兰圆与光栅圆，所述阵列波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭利勇，张家顺，王亮亮，尹小杰，王玥，安俊明，吴远大，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：