一种表面晶格共振超表面器件制造技术

本发明专利技术提供了一种表面晶格共振(SLRs)超表面器件，其包括：基底；周期性阵列排布于基底上的U型分裂环金属结构单元；以及将U型分裂环金属结构单元掩埋于其中以提供均匀折射率背景的掩埋材料。当U型分裂环金属结构单元阵列排布的周期取为最优值1050nm，且线偏振光垂直入射到该超表面器件上时，该超表面器件透射谱中出现三个共振峰，其中，共振波长1536nm处的共振峰的半峰宽为0.12nm、共振振幅为0.8，由此该超表面器件实现数值高达12800的Q因子。该Q因子目前不仅在支持SLRs的金属阵列中，而且在其他金属结构中都是最高的，这对于探索高Q因子等离子共振的潜在应用具有重要意义。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳光子器件领域，特别涉及一种表面晶格共振超表面光学器件。

技术介绍

1、表面晶格共振(slrs)是由金属纳米结构的周期阵列支持的集体共振模式。slrs的物理起源是单个纳米结构激发的局域表面等离子体共振(lsprs)与整个周期阵列产生的面内传播的衍射级次的耦合。由于衍射散射能够有效地激发slrs，而不是让散射光束直接在自由空间中衰减，因此slrs可以极大地抑制辐射损耗。因此，与其他等离子体共振相比，slrs具有许多吸引人的优点，例如极窄的光学响应，显著增强的q因子，以及可在大体积上实现的更强的场增强等等。这些优势特别是高q因子使得slrs在强耦合、非线性效应、定向发射、纳米尺度的激光和灵敏的生物传感等领域的基础研究和实际应用中都很有吸引力。一般来说，q因子越高，其应用范围越广，相关性能也越好。近年来，获得高q因子slrs的新方法一直受到人们的追捧。

2、迄今为止，研究人员提出了各种方法来提高slrs的q因子。这些方法包括改变纳米颗粒的形状、大小、温度、材料或粘附层，利用相干性更好的光源，以及改变入射光的角度和偏振等等。然而，这些方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种表面晶格共振超表面器件，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超表面器件，其特征在于，

3.如权利要求2所述的超表面器件，其特征在于，

4.如权利要求2或3所述的超表面器件，其特征在于，

5.如权利要求4所述的超表面器件，其特征在于，

6.如权利要求5所述的超表面器件，其特征在于，

7.如权利要求6所述的超表面器件，其特征在于，

8.如权利要求7所述的超表面器件，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种表面晶格共振超表面器件，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超表面器件，其特征在于，

3.如权利要求2所述的超表面器件，其特征在于，

4.如权利要求2或3所述的超表面器件，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：董鹏，续航，高华，赵晨，
申请(专利权)人：中国石油大学华东，
类型：发明
国别省市：