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超细金刚石切割线制造技术

技术编号:4230367 阅读:266 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种超细金刚石切割线,特征是:包括一个金属线性基体,在该金属线性基体的外表面设有电解铜层,在电解铜层上通过树脂粘合剂连续固定镶嵌有金刚石磨料颗粒,金刚石磨料颗粒的外表面制有导电介质层。优点是:可同时进行多片切割,出品率高,切片表面质量较高,很少产生崩片现象等;切削工件时使切口减小,避免贵重材料的浪费。超细金刚石切割线提高了使用寿命,减少污染达到了环保的要求。用本线锯安装在切削装置上切出的片材厚度差和翘曲度大大减小,给后期加工提供了方便,不仅可用于IC制造领域中硅晶体的高效精密切片加工,也可用于其他贵重功能晶体和硬脆材料的切割加工,因此具有十分广阔的应用前景。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于切割工具
,特别是涉及一种超细金刚石切割线
技术介绍
随着我国工业现代化进程的发展,硬脆材料(例如硅晶体、蓝宝石合玛 瑙等)在各个领域的应用已日益广泛。由于硬脆材料具有许多金属材料难以 比拟的优良特性,因此其应用范围已由建筑、石材、工艺品制造业等逐渐扩 展到微电子、光电子、航空航天、半导体等工业领域。在硬脆材料的各种加 工方法中,切割加工占有很重要的地位。传统的切割加工包括钢片切割、带 锯切割和内外圆片锯切割等,虽各具优点,但存在切缝较宽、出材率较低、 面形精度差、表面损伤层深等缺陷,已难以满足此类贵重硬脆晶体基片的大 尺寸精密薄片切割。在单晶硅材料切割中主要采用游离磨料线锯切割技术, 即边切割边向琴钢丝供应带有磨料的浆液的游离磨料切割方式。但是,该工 艺存在的主要问题是锯口损耗大,易造成硅片表层较深的损伤层,且表面粗糙度和面形精度难以控制;磨浆消耗大,作业环境恶劣;因使用游离磨粒钢 丝移动速度难于提高,切割效率的改善受到限制。近几年开发的往复式自由 磨料线锯切片,虽在加工大尺寸硅片方面与内圆切片技术相比具有较大优势, 主要表现在可切割大尺寸硅晶体,同时进行多片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超细金刚石切割线,其特征在于:包括一个金属线性基体,在该金属线性基体的外表面设有电解铜层,在电解铜层上通过树脂粘合剂固定镶嵌有金刚石磨料颗粒。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:魏莲君
申请(专利权)人:魏莲君
类型:实用新型
国别省市:12[中国|天津]

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