【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及光罩盒，特定来说，包括精细以及粗略对准特征的光罩盒。
技术介绍
1、光罩盒可被用来固持光罩，例如在例如光刻(包括极紫外(euv))过程的处理期间固定光罩。光罩盒可包括外盒及内盒，其中内盒包括盖及底板。盖及底板可由硬质材料(例如金属)制成。盖及底板的相对移动可能导致硬质材料的摩擦，继而导致在盖及底板的表面抵靠彼此摩擦之处因磨损而产生粒子。
技术实现思路
1、本公开涉及光罩盒，特定来说包括精细以及粗略对准特征的光罩盒。
2、根据实施例的光罩盒可被用于例如举例来说极紫外(euv)工艺的工艺中。可提供运动限制特征以改进所述光罩盒的盖及底板的相对定位。所述运动限制特征可限制所述盖及所述底板的较小相对移动，从而减少所述盖及底板的摩擦以继而减少在所述光罩盒的使用期间的粒子产生。这可改进使用所述光罩盒进行的工艺的纯度，从而提高良率且减少因粒子污染、盒组件未对准及类似者所致的损失。
3、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及...
【技术保护点】
1.一种光罩盒，其包含：
2.一种光罩盒，其包含：
3.根据权利要求2所述的光罩盒，其中所述弹性接触表面设置在弹性本体上，所述弹性本体包括与其中所述插接销经配置以接触所述弹性接触表面的表面相对的中空部分。
4.根据权利要求2或3所述的光罩盒，其中所述插接销中的每一者安置在插接销通道中，每一插接销通道形成在所述盖或所述底板中的所述一者中。
5.一种光罩盒，其包含：
6.根据权利要求5所述的光罩盒，其中所述运动限制特征中的每一者包括经配置以容纳所述隔板的对准保持切口及经配置以将所述隔板保持在所述对准保持切口中的保
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光罩盒，其包含：
2.一种光罩盒，其包含：
3.根据权利要求2所述的光罩盒，其中所述弹性接触表面设置在弹性本体上，所述弹性本体包括与其中所述插接销经配置以接触所述弹性接触表面的表面相对的中空部分。
4.根据权利要求2或3所述的光罩盒，其中所述插接销中的每一者安置在插接销通道中，每一插接销通道形成在所述盖或所述底板中的所述一者中。
5.一种光罩盒，其包含：
6.根据权利要求5所述的光罩盒，其中所述运动限制特征中的每一者包括经配置以容纳所述隔板的对准保持切口及经配置以将所述隔板保持在所述对准保持切口中的保持环。
7.根据权利要求5或6所述的光罩盒，其中所述销安置在形成在所述盖或所述底板中的所述一者中的销通道中。
8.一种光罩盒，其包含：
9.根据权利要求8所述的光罩盒，其中所述运动限制杯直接形成在所述盖或所述底板中的一者中。
10.根据权利要求8或9所述的光罩盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·V·拉施克，B·怀斯曼，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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