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光罩盒包括内盒，其中运动限制特征限制盖及底板相对于彼此的平移移动。所述运动限制特征是对包括在所述内盒中的粗略对准特征的补充。所述运动限制特征在所述粗略对准特征将抵抗所述平移移动之前抵抗所述移动。运动限制特征可包括提供抵靠接触表面的摩擦的弹性...
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