【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及真空致动气缸(vac)及具有压力调节阀的低气压气体递送系统的领域。
技术介绍
1、低气压递送系统(例如vac)可使用压力感测装置来调节阀的打开及闭合。
技术实现思路
1、压力感测组合件(psa)通常包含经组装的各种组件，且可包含组装后的各种焊接组件。在一些psa中，可存在由不同材料制成的组装在一起的各种(例如，17或更多个)单独组件。组装这些各种组件及焊接所述组件以产生psa可导致不一致性能、归因于不良制造工艺及质量控制所致的故障，或两者。此外，psa的各种组件通常在不同位置处或由不同制造商制造，且其间的不同公差可导致具有不一致质量及性能的最终经组装psa。例如，不一致性能可包含气体尖峰、气体压力振荡或两者。在操作期间通常检测到psa的故障。在经组装的psa中识别此类故障的具体原因是困难的，因为可存在许多不同组件，其可为故障的原因。
2、在一些实施例中，本文公开一种可取代psa的装置。
3、本公开的一些实施例涉及一种可执行psa的功能的压力感测一体式装置(...
【技术保护点】
1.一种装置，其包括：
2.根据权利要求2所述的装置，其中所述减压机构进一步包括杆，
3.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的装置，其中所述外壳及所述减压机构不具有任何焊接件或焊接组件。
4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的装置，其中所述单个一体式主体是由金属制成。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述金属包含不锈钢。
6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的装置，其中所述单个一体式主体进一步包括：
7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的装置，其中所述第一压力高于低气压。
<...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种装置，其包括：
2.根据权利要求2所述的装置，其中所述减压机构进一步包括杆，
3.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的装置，其中所述外壳及所述减压机构不具有任何焊接件或焊接组件。
4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的装置，其中所述单个一体式主体是由金属制成。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述金属包含不锈钢。
6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的装置，其中所述单个一体式主体进一步包括：
7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的装置，其中所述第一压力高于低气压。
8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的装置，其中所述第二压力是低气压。
9.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·K·佩鲁马尔，A·瓦桑塔库马尔，S·古达蒂，M·利维，S·巴罗利，E·E·琼斯，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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