测试分选机的拾放装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种测试分选机的拾放装置，该拾放装置包括：拾取器，以Ｎ行×Ｍ列的形态布置，所述Ｎ和Ｍ分别为大于等于２的自然数；行间距调节装置，用于引导所述拾取器的列向移动，并调整所述拾取器的行间距；列间距调节装置，用于引导所述拾取器的行向移动，并调整所述拾取器的列间距。本发明专利技术可以简化拾放装置的构成，降低制造成本，并且可以提高将半导体元件从用户托盘移送至测试托盘的速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测试分选机，尤其涉及测试分选机的拾放装置。
技术介绍
测试分选机(Test Handler)是提供按预定的制造工程所制造的半导体元件，使得 测试机(Tester)测试该半导体元件的支援设备。测试分选机将承载于用户托盘(Customer Tray)的半导体元件装载到测试托盘(Test Tray)，以将承载于测试托盘的半导体元件供给 至测试机，而且将完成测试的半导体元件从测试托盘卸载到用户托盘。 如图1所示， 一般的用户托盘100的使用目的在于保管半导体元件SC，因此为了尽 可能多地承载半导体元件SC，半导体元件SC之间的行间距a和列间距b设计为最小值。 另外，如图2所示， 一般的测试托盘200其半导体元件SC之间的行间距c和列间 距d设计为测试半导体元件SC所需的间距， 一般来讲，测试托盘200中半导体元件SC之间 的间距c、d要大于用户托盘100中半导体元件SC之间的间距a、b。 因而，当从用户托盘100向测试托盘200装载半导体元件SC，或者从测试托盘200 向用户托盘100卸载半导体元件SC时，需要调整半导体元件SC之间的行间距和列间距，为 此使用拾放装置(Pick-And-Place A卯aratus)。 拾放装置具有用于吸附及脱附半导体元件的多个拾取器(Picker)，并具有能够调 整拾取器之间间距的功能。 这种拾放装置所具备的拾取器的数量呈逐渐增加的趋势，以便提高测试分选机的 运行速度。 g卩，以往将8个拾取器布置为一行，但后来其行数逐渐增加到2行、3行，而现如今 的趋势为在一个拾放装置上设置4行的拾取器，即使用32个拾取器。 如此，随着布置在拾放装置的拾取器数量的增加，出现了各种技术以在将半导体 元件在用户托盘与测试托盘之间移动时，用于调整拾取器之间的X轴间距和Y由间距。 作为这种技术，可以例举由本专利技术的申请人所提出的韩国授权专利0800312号 (专利技术名称为"测试分选机及其装载方法(TEST HANDLER ANDLOADING METHOD OF TEST HANDLER)"，以下称之为"
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1")。技术背景1包括机动型装载平台，可在承载位置与装载位置之间做往复移动且 具有元件安置部，该元件安置部的前后节距等于测试托盘的元件安置部的前后节距；第一 拾取装置，以用于从用户托盘拾取半导体元件，在调整半导体元件之间前后节距的同时将 半导体元件装载到处于承载位置的机动型装载平台；第二拾取装置，以用于从处于装载位 置的机动型装载平台向测试托盘移送及装载半导体元件，与此同时调整半导体元件之间的 左右节距。 但是，
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1使用了两个拾取装置，以及机动型装载平台，因此相比使用一个拾取装置的情况，其构成复杂，并且还需要确保使得机动型装载平台移动的空间。 另外，还可以例举由本专利技术的申请人所提出的韩国授权专利0553989号(专利技术名3称为"测试分选机的装载机械手(LOADER HAND FOR TESTHANDLER)"，以下称之为"
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2")。
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2中，利用凸轮盘调节半导体元件之间的X轴间距，利用气缸调节半导体元 件之间的Y轴间距。 但是，
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2例举了拾取器布置为两行的技术，当利用
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2欲实现三行 以上的拾取器时，为了调节X轴间距需要在布置有拾取器的各行都设置凸轮盘。而且，为了 调节Y轴间距除了一对气缸装置以外，还需要追加设置气缸装置，因此其构成会变得非常 复杂。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种通过相比
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1和
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2更简单的构成，从 用户托盘同时拾取半导体元件，并将拾取的半导体元件同时装载到测试托盘，而且对上述 动作也可反向操作的测试分选机的拾放装置。 为了实现上述目的，根据本专利技术的测试分选机的拾放装置，包括拾取器，以N 行XM列的形态布置，所述N和M分别为大于等于2的自然数；行间距调节装置，用于引导 所述拾取器的列向移动，并调整所述拾取器的行间距；列间距调节装置，用于引导所述拾取 器的行向移动，并调整所述拾取器的列间距。其中，所述行间距调节装置包括多个列向引 导部件，用于引导所述拾取器的列向移动；行间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于调 整所述列向引导部件之间的行间距；行间距调节用驱动源，用于驱动所述行间距调节用凸 轮部件。所述列间距调节装置包括多个行向引导部件，用于引导所述拾取器的行向移动； 列间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于调整所述行向弓I导部件之间的列间距；列间距 调节用驱动源，用于驱动所述列间距调节用凸轮部件。 而且，所述拾取器位于所述列向引导部件与所述行向引导部件相互交叉的位置。 而且，所述行间距调节用凸轮部件具有多个行间距引导槽，该行间距引导槽分别 与所述列向弓I导部件可滑动地相结合，从而通过调整所述列向弓I导部件之间的行间距来改 变所述拾取器之间的行间距；所述列间距调节用凸轮部件具有多个列间距引导槽，该列间 距引导槽分别与所述行向引导部件可滑动地相结合，从而通过调整所述行向引导部件之间 的列间距来改变所述拾取器之间的列间距。 所述行间距调节用驱动源提供用于平移所述行间距调节用凸轮部件的动力，所述 列间距调节用驱动源提供用于平移所述列间距调节用凸轮部件的动力。 另外，所述行间距调节装置包括多个列向引导部件，用于引导所述拾取器的列向 移动；行间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于调整所述列向引导部件之间的行间距； 行间距调节用驱动源，用于驱动所述行间距调节用凸轮部件；所述列间距调节装置包括 列间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于改变设置在布置于第一行或第N行拾取器上 的引导凸起之间的间距；列间距调节用驱动源，用于驱动所述列间距调节用凸轮部件；多 个行向引导部件，用于引导与设有所述引导凸起的拾取器布置在同一列上的拾取器沿行向 移动。 而且，所述行间距调节用凸轮部件能够限制结合有具备所述引导凸起的拾取器的 列向引导部件沿行向移动。 在此，测试分选机通过利用拾放装置将半导体元件从用户托盘移送至测试托盘的4过程中调整拾取器的列间距和行间距。 如上所述的本专利技术，通过利用在引导拾取器的列向移动的同时调整拾取器行间距的行间距调节装置和在引导拾取器的行向移动的同时调整拾取器列间距的列间距调整装置，调整拾取器的行间距以及列间距，从而具有如下的效果。 第一、只需设置数量少于拾取器行数的行间距调节用凸轮部件以及数量少于拾取器列数的列间距调节用凸轮部件，因此可以简化拾放装置的构成。 第二、只需设置用于驱动行间距调节用凸轮部件及列间距调节用凸轮部件的驱动源，从而使驱动源的数量达到最少，降低制造成本。 第三、当利用行间距调节用凸轮部件和列间距调节用凸轮部件，将半导体元件从用户托盘移动至测试托盘时，由于利用一个拾放装置调整行间距和列间距，因此可以提高将半导体元件从用户托盘移送至测试托盘的速度。附图说明图1为承载有半导体元件的一般用户托盘的平面图；图2为承载有半导体元件的一般测试托盘的平面图；图3为根据本专利技术第一实施例的拾放装置的立体图；图4为表示根据本专利技术第一实施例的拾放装置的主要构成的分解立体图；图5为适用于根据本专利技术第一实施例的拾放装置的球轴套的立体图；图6为图4所示拾放装置的正面图；图7为图4所示拾放装置的侧面图；图8为根据本专利技术第一实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试分选机的拾放装置，其特征在于包括：拾取器，以Ｎ行×Ｍ列的形态布置，所述Ｎ和Ｍ分别为大于等于２的自然数；行间距调节装置，用于引导所述拾取器的列向移动，并调整所述拾取器的行间距；列间距调节装置，用于引导所述拾取器的行向移动，并调整所述拾取器的列间距；其中，所述行间距调节装置包括：多个列向引导部件，用于引导所述拾取器的列向移动；行间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于调整所述列向引导部件之间的行间距；行间距调节用驱动源，用于驱动所述行间距调节用凸轮部件；所述列间距调节装置包括：多个行向引导部件，用于引导所述拾取器的行向移动；列间距调节用凸轮部件，呈垂直板形状，用于调整所述行向引导部件之间的列间距；列间距调节用驱动源，用于驱动所述列间距调节用凸轮部件。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴荣大，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]