探针卡校正设备制造技术

本发明专利技术为一种探针卡校正设备，其中，移动平台可通过基座上的第一导引装置以滑移于显微装置、及高度量测装置二处的下方，探针卡则夹固于移动平台上。本发明专利技术可先利用显微装置与比对装置以对移动平台上的探针卡先进行纵向、及横向的校正与调针工作；继而，将移动平台沿着第一导引装置移动至高度量测装置下方，再以高度量测器对探针卡继续进行高度量测，更可以控制器纪录每一探针的高度，如此周而复始，调针人员便可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种校正设备，尤其是指一种适用于探针卡的校正设备。
技术介绍
探针卡校正，可分成探针的纵向与横向偏斜的校正、及探针的平均高 度校正。进行纵、横向校正时则以低倍率显微镜辅以比对罩进行探针卡的 比对。此时，若探针相对于比对罩的比对记号产生纵向或与横向位置偏斜 时，则以人工进行纵、横向校正，此校正动作持续到探针正确地对准比对 记号为止。若针对探针的平均高度进行校正，则是以高倍率显微镜辅以校 正，将较平均高度凸出或凹陷的探针进行高度调整以使整体探针的高度平 均一致。于公知技术中，纵向与横向偏斜的校正是以一台专用设备进行， 而探针的平均高度校正则又是另一台专用设备。因此，使用者通常需校正 探针卡于两套设备之间，不仅于使用上不方便，更是耗费人力及时间，而 调校好的探针卡也因来回的搬运与安装而可能使定位偏移而造成调校的 精准度变差，因而衍生诸多问题。因此，亟待一种能将两专用机台合而为 一的探针卡校正设备，以解决上述种种问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种探针卡校正设备，以便可精准、方便、迅 速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。为实现上述目的，本专利技术提供的种探针卡校正设备，包括一基座、一移动平台(movingtable)、 一比对装置、及一显微装置。基座包括有一第一导引装置，第一导引装置包括有一第一端、及一第 二端。移动平台包括有一第二导引装置、及一旋转载台，移动平台通过第 二导引装置对应滑设于基座的第一导引装置上、并相对滑移于第一端与第5二端之间，旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，旋转载台上设置有至少一夹具，用以夹持一探针卡(probecard)。比对装置组设于基座上并邻近第一导引装置的第一端，比对装置包括 有一比对罩(mask)，比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧之间，比 对罩包括有一透明片，透明片上包括有一比对区，比对区内标记有至少一 比对记号，调针侧是指比对罩移行到以其比对区对应到探针卡的探针位置 处，准备侧是指比对罩的比对区移离开探针卡的探针位置处。显微装置包括有一支架、 一滑动块、 一低倍显微镜、及一影像撷取器， 支架固设于基座上并跨架于第一导引装置的第一端上方，滑动块滑设于支 架上，低倍显微镜及影像撷取器分别组设于滑动块上。高度量测装置包括有一固定架、 一移动块、及一高度量测器，固定架 固设于基座上并跨架于第一导引装置的第二端上方，移动块滑设于固定架 上，高度量测器组设于移动块上。控制装置与高度量测器电性连接。因此，当探针卡的探针位于显微装置下方位置时，是以比对装置进行 探针的纵向、及横向的比对与调针工作；探针卡的探针位于高度量测装置 下方位置时，是以高度量测器进行探针的高度量测，并以控制器纪录每一 探针的高度，再由调针人员进行高度调整，并反复纵向、横向、及高度的 比对直至调针完成。如此，调针人员可精准、方便、迅速地于同一调针机 台完成探针卡校正工作。其中，基座的第一导引装置可指二滑轨，移动平台的第二导引装置可 指二滑座，其相对滑移于该二滑轨上。此外，探针卡校正设备，其可包括 有一控制装置，其与高度量测装置的高度量测器电性连接。移动平台可包括一第一致动器、及一纵向移动开关，第一致动器、及 纵向移动开关分别电性连接于控制器，触发纵向移动开关致使控制器驱动 第一致动器带动移动平台纵向滑移于第一导引装置上。显微装置的支架上设有一横向滑槽，滑动块是对应横向滑移于横向滑 槽内。显微装置可包括一第二致动器、及一第二致动开关，第二致动开关 与第二致动器电性连接，触发第二致动开关致使第二致动器带动滑动块横 向滑移于支架上。第二致动器包括一马达、及一螺杆，或可改用气压缸、 步进马达、或皮带、炼条传动皆可。比对装置可包括一翻调装置、及一转杆，比对罩是固设于转杆上，翻 调装置是驱动转杆旋转以使比对罩选择式地翻转于调针侧与准备侧之间， 或可改用一升降装置将比对罩上升下降以选择式地移行于一位于下方的 比对位置、与一位于上方的远离位置。比对装置可包括一第三致动开关、及一第三致动器，第三致动器与第 三致动开关电性连接，触发第三致动开关致使第三致动器带动转杆旋转。 第三致动器是指一旋转式气压缸，或可改用气压缸、马达...等皆可。显微装置可包括一垂向滑块、 一第四致动器、及一第四致动开关，垂 向滑块滑设于该滑动块上，第四致动器与第四致动开关电性连接，触发第 四致动开关致使第四致动器带动垂向滑块垂直滑移于滑动块上，藉以微调 低倍显微镜、及影像撷取器的焦距。第四致动器包括一马达、及一螺杆， 或可改用气压缸、马达...等皆可。高度量测装置的固定架上可设有一横式滑槽，移动块是对应横向滑移 于横式滑槽内。高度量测装置可包括一第五致动器、及一第五致动开关， 第五致动开关与第五致动器电性连接，触发第五致动开关致使第五致动器 带动移动块横向滑移于固定架上。第五致动器包括一马达、及一螺杆，或 可改用气压缸、步进马达、或皮带、炼条传动皆可。高度量测装置可包括一垂式滑块、 一第六致动器、及一第六致动开关， 垂式滑块滑设于移动块上，第六致动器与第六致动开关电性连接，触发第 六致动开关致使第六致动器带动垂式滑块垂直滑移于移动块上，以微调高 度量测器与探针卡的距离。第六致动器包括一马达、及一螺杆。附图说明图1是本专利技术 一较佳实施例的立体图。图2是本专利技术一较佳实施例比对罩的示意图。图3是本专利技术一较佳实施例的立体图。图4 6是本专利技术一较佳实施例的流程图。附图中主要组件符号说明基座l 滑轨ll 第一端110第二端112 移动平台2 第一致动器20归零开关201第一位置确认开， 第一位置定位开3旋转载台21滑座22透明片311翻调装置32第三致动开关34横向滑槽401滑动块41垂向滑块44咼度量领!j装置5第五致动器502高度量测器52第六致动开关56显不器62准备侧P2探针71纵向移动开关202 203 第二位置确认 205 第二位置定位夹具211比对装置3比对区312转杆321显微装置4第二致动器402低倍显微镜42第四致动器45 '固定架50第五致动开关503垂式滑块54控制装置6原点PO第一位置YO关204 关206比对罩31 比对记号313 第三致动器33 支架40第二致动开关403影像撷取器43第四致动开关46横式滑槽501移动块51第六致动器55控制器61调针侧P1探针卡具体实施例方式请参阅图l，为本专利技术一较佳实施例的立体图。如图所示，于本实施 例中系有关于一种探针卡校正设备，包括一基座l、 一移动平台2、 一比对 装置3、 一显微装置4、及一高度量测装置5。基座l包括有一第一导引装置，第一导引装置包括有一第一端110、及 一第二端112，其中，第一导引装置是指二滑轨ll。移动平台2包括有一第 二导引装置、及一旋转载台21，其中，第二导引装置是指二滑座22，其相 对滑移于二滑轨ll上，移动平台2通过第二导引装置的二滑座22对应滑设 于基座l的第一导引装置其二滑轨ll上、并相对滑移于该第一端110与第二 端112之间，旋转载台21组设于移动平台2上并能相对旋转，旋转载台21上 设置有至少一夹具211，用以夹持一探针卡7。请参阅图2 —并参阅图1，图2是本专利技术一较佳实施例比对罩的示意图。如图所示，比对装置3组设于基座本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡校正设备，包括：　一基座，包括有一第一导引装置，该第一导引装置包括有一第一端、及一第二端；　一移动平台，包括有一第二导引装置、及一旋转载台，该移动平台通过该第二导引装置对应滑设于该基座的该第一导引装置上、并相对滑移于该 第一端与第二端之间，该旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，该旋转载台上设置有至少一夹具；　一比对装置，组设于该基座上并邻近该第一导引装置的该第一端，该比对装置包括有一比对罩，该比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧之间，该比对罩包括 有一透明片，该透明片上包括有一比对区，该比对区内标记有至少一比对记号；　一显微装置，包括有一支架、一滑动块、一低倍显微镜、及一影像撷取器，该支架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第一端上方，该滑动块滑设于该支架上，该低倍显微镜及 该影像撷取器分别组设于该滑动块上；以及　一高度量测装置，包括有一固定架、一移动块、及一高度量测器，该固定架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第二端上方，该移动块滑设于该固定架上，该高度量测器组设于该移动块上。

【技术特征摘要】
1、一种探针卡校正设备，包括一基座，包括有一第一导引装置，该第一导引装置包括有一第一端、及一第二端；一移动平台，包括有一第二导引装置、及一旋转载台，该移动平台通过该第二导引装置对应滑设于该基座的该第一导引装置上、并相对滑移于该第一端与第二端之间，该旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，该旋转载台上设置有至少一夹具；一比对装置，组设于该基座上并邻近该第一导引装置的该第一端，该比对装置包括有一比对罩，该比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧之间，该比对罩包括有一透明片，该透明片上包括有一比对区，该比对区内标记有至少一比对记号；一显微装置，包括有一支架、一滑动块、一低倍显微镜、及一影像撷取器，该支架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第一端上方，该滑动块滑设于该支架上，该低倍显微镜及该影像撷取器分别组设于该滑动块上；以及一高度量测装置，包括有一固定架、一移动块、及一高度量测器，该固定架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第二端上方，该移动块滑设于该固定架上，该高度量测器组设于该移动块上。2、 如权利要求l所述的探针卡校正设备，其中，该基座的该第一导引 装置是指二滑轨，该移动平台的该第二导引装置是指二滑座，其相对滑移 于该二滑轨上。3、 如权利要求l所述的探针卡校正设备，其更包括有一控制装置，其 与该高度量测装置的该高度量测器电性连接。4、 如权利要求l所述的探针卡校正设备，其中，该移动平台包括一第 一致动器、及一纵向移动开关，该第一致动器、及该纵向移动开关电性连 接，触发该纵向移动开关致使该第一致动器带动该移动平台纵向滑移于该 第一导引装置上。5、 如权利要求l所述的探针卡校正设备，其中，该显微装置的该支架 上设有一横向滑槽，该滑动块是对应横向滑移于该横向滑槽内。6、 如权利要求l所述的探针卡校正设备，其中，该显微装置包括一第 二致动器、及一第二致动开关，该第二致动开关与该第二致动器电性连接， 触发该第二致动开关致使该第二致动器带动该...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄钧鸿，刘尚达，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]