一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法技术方案

本发明专利技术提供一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，集簇设备控制（ＣＴＣ）系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。应用本发明专利技术方案，由于ＣＴＣ系统不必事先将工艺控制系统中的所有功能模块都进行远程引用，从而在与工艺控制系统进行通信时不必占用ＣＴＣ系统自身大量的资源，也可以避免运行速度和性能的下降。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工
，特别是涉及一种集簇设备控制系统和 工艺控制系统之间通信的方法。
技术介绍
在半导体加工工艺操作过程中，通常利用工艺控制系统对工艺操作进行 控制，从而自动、准确地完成工艺任务。这里所述的工艺控制系统就是安装 在如计算机等设备中的软件系统，可以按照对半导体加工工艺操作过程的不同分为不同的系统。比如工艺模块控制(PMC)系统、传输模块控制(TMC, Transport Module Controller )系统等等。其中，PMC系统主要用于对半导体加工过程的控制，比如对加工深度 的控制；而TMC系统则主要用于对半导体加工件传输过程的控制，比如 对实施取片、放片等操作的机械手的控制、对反应室某个阀门打开或关闭的 控制等。这里所述的半导体加工件通常包括晶片以及与其具有相同加工原理 的其他加工件，下文所述半导体加工件的含义与此相同。实际应用中，为了更好地对整个工艺操作过程进行控制，还需要利用集 蔟设备控制(CTC, Cluster Tool Controller)系统对工艺控制系统进行控制。 这里所述的CTC系统也是安装在如计算机等设备中的软件系统。具体地说， CTC可以事先设置一 系列的算法或命令，利用设置的算法或命令控制工艺控 制系统实施自身的某个功能模块的功能，从而达到实施整个工艺操作过程的 目的。由于CTC系统需要对工艺控制系统进行控制，就需要与其进行通信。 现有技术中，CTC系统与工艺控制系统之间通常采用Corba体系进行通信。Corba体系是采用远程引用的方式来调用工艺控制系统中功能模块的功能， 这就需要CTC系统启动后对工艺控制系统中所有功能模块进行远程引用， 相当于将工艺控制系统中各个功能模块备份在自身中。此后，当CTC需要 实施工艺控制系统某个功能模块时，就可以直接调用事先引用的功能模块， 从而达到控制工艺控制系统的目的。由于CTC系统是采用Corba体系与工艺控制系统进行通信，如果工艺 控制系统中的功能模块非常多，CTC系统在引用工艺控制系统中所有功能模 块后，不但会占用CTC系统大量的资源，还会使CTC系统的运行速度和性 能下降。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种集簇设备控制(CTC)系统 和工艺控制系统之间通信的方法，不必占用CTC系统大量的资源，避免使 CTC系统的运行速度和性能下降。为了达到上述目的，本专利技术提出的技术方案为，该方法包括以下 步骤a、 集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命 令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；b、 工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相 应功能模块进行搡作。上述方案中，所述接口信息至少包括功能模块ID号、功能标识信息；所述 功能标识信息为功能模块ID号所对应功能模块可执行功能的标识信息；所述操 作命令为指示功能模块执行功能的命令；所述步骤b包括工艺控制系统根据操作命令确定当前需要功能模块执行 自身功能，并根据功能模块ID号和功能标识信息调用相应的功能模块，被调用 的功能模块按照所述功能标识信息执行自身的功能。上述方案中，所述接口信息至少包括功能模块ID号；所述操作命令为读取 功能模块最近所执行功能的标识信息的命令；所述步骤b包括所述工艺控制系统根据操作命令确定当前需要读取功能 模块最近所执行功能的标识信息，根据功能模块ID号查询保存的对应功能模块 最近所执行功能的标识信息，并将查询到的功能标识信息返回给CTC系统。上述方案中，所述操作命令为基于Socket连接的操作命令，所述步骤a之 前，该方法进一步包括CTC系统和工艺控制系统之间建立Socket连接。上述方案中，当工艺控制系统的功能模块检测出故障时，该方法进一步包括将事先为故障设置的故障标识信息发送给CTC系统，CTC系统根据故障标 识信息调用故障处理功能进行故障处理，所述故障处理功能为CTC系统事先通 过远程引用方式从工艺控制系统中所获得的。上述方案中，所述远程引用为利用远程remoting技术实现的远程引用。 综上所述，本专利技术提出 一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信 的方法，可以由CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令， 工艺控制系统根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作，CTC系统不必 事先将工艺控制系统中的所有功能模块都进行远程引用，从而无需占用CTC 系统的大量资源，也可以避免其运行速度和性能的下降。附图说明图1是本专利技术中集簇设备控制系统和工艺控制系统之间进行通信的方 法流程图2是本专利技术实施例中CTC系统指示TMC系统中功能模块执行功能的 方法流程图3是本专利技术实施例中CTC系统读取TMC系统中功能模块最近所执行 功能的标识信息的方法流程图。具体实施例方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体 实施例对本专利技术作进 一 步地详细描述。图1是本专利技术实现集簇设备控制(CTC)系统和工艺控制系统之间进行 通信的方法流程图。如图l所示，本专利技术方法可以包括步骤101: CTC向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述 接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息。本专利技术中，工艺控制系统可以为自身所有功能模块设置各自的接口信 息，CTC通过接口信息对相应的功能模块进行操作。实际应用中，功能模块的接口信息可以包括功能模块ID号、功能模块 名称、功能模块属性、功能模块标识信息取值范围、功能标识信息等等。功 能模块ID是某个功能模块在工艺控制系统中唯一的标识；功能模块名称表 示某个功能模块自身的名称；功能模块属性表示某个功能模块自身是否可执 行功能，或者是否可向CTC系统提供功能标识信息；功能模块标识信息取 值范围表示某个功能模块自身所有功能标识信息可以取值的范围；功能标识 信息是为功能模块可执行功能所设置的标识。在这里所述的接口信息中，功 能模块ID是必要的信息，而其它的信息则可以根据实际情况进行选择。当 然，接口信息还包括其它的信息，具体可由应用本专利技术方案的用户自行确定。另外，本步骤所述的操作命令可以分为两种 一种是指示功能模块执行 功能的命令，另外一种是读取功能模块最近所执行功能的标识信息的命令。 也就是说，CTC系统和工艺控制系统之间的通信有两类， 一类是CTC系统 指示工艺控制系统控制某个功能模块去执行其某个功能，另一类是CTC系 统指示需要从工艺控制系统中获得某个功能模块最近所执行的功能的标识 信息。具体如何执行这两类操作命令参见步骤102，此处不再赘述。步骤102:工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接 口信息对相应功能模块进行操作。实际应用中，如果操作命令为指示工艺控制系统控制某个功能模块去执行自身某个功能的命令，那么，CTC系统向工艺控制系统所发的操作命令中 的接口信息至少应该包括功能模块ID号和功能标识信息，其目的是指示功 能模块ID号对应的功能模块执行功能标识信息所对应的功能。此时，步骤 102可以具体包括工艺控制系统根据操作命令确定当前需要功能模块执行自身功能，并根 据功能模块ID号和功能标识信息调用相应的功能模块，被调用的功能模块 按照所述功能标识信息执行自身的功能。比如工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：　ａ、集簇设备控制ＣＴＣ系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；　ｂ、工艺控制 系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆涛，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]