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本发明提供一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，集簇设备控制（ＣＴＣ）系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。