一种气相催化生产四氟甲烷的方法技术

本发明专利技术是一种气相催化生产四氟甲烷的方法。本发明专利技术的目的是针对现有的气相氟化法生产ＦＣ－１４工艺中所存在的所需反应温度高、单程转化率低的不足之处，提供一种所需反应温度低、单程转化率高的经济高效的气相催化生产四氟甲烷的方法。本发明专利技术生产四氟甲烷的方法是：将卤代烃在气相氟化催化剂存在下和氟化氢于气相中发生反应生产四氟甲烷，其中，卤代烃与ＨＦ之间的摩尔比为１∶１～１０；卤代烃采用四氯甲烷、三氯一氟甲烷、二氯二氟甲烷、一氯三氟甲烷中的一种或一种以上；所使用的气相氟化催化剂是采用Ｃｒ的化合物为活性组分，采用Ａｌ的化合物为载体，Ｃｒ与Ａｌ之间的摩尔比为１∶１～１９。本发明专利技术的方法具有催化剂使用寿命长、卤代烃的转化率高的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生产四氟甲烷的方法，特别是。
技术介绍
四氟甲烷(以下可称为FC-14)是工业中非常有用的化合物，例如，它是目前微电 子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气， 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻；其在电子器件表面 清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、去污剂、金属冶 炼和塑料行业等方面也有大量使用。 为了生产FC-14，迄今为止已提出了各种方法。目前工业上用于制备FC-14的方法 主要有以下几种 (1)碳与氟气反应的方法； (2)甲烷与氟气反应的方法； (3)氢氟甲烷与氟气反应的方法； (4)热分解四氟乙烯的方法； (5)电化学氟化法； (6)氟氯甲烷和氟化氢气相氟化法。 在上述(1) 、 (2)与(3)的方法中存在着如下不足之处使用了反应性极强、昂贵的 氟气作为氟源，其反应是在剧烈的条件进行的，不易控制，有爆炸的危险，并且直接加入氟 气需要特殊结构的反应器，对设备要求高，有腐蚀的危险，从而产生与工业生产和操作有关 的问题。此外，尽管可以采用惰性气体稀释氟本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气相催化生产四氟甲烷的方法，其特征在于，气相催化生产四氟甲烷的方法是：将卤代烃在气相氟化催化剂存在下和氟化氢于气相中发生反应生产四氟甲烷，其中，卤代烃与ＨＦ之间的摩尔比为１∶１～１０；卤代烃采用四氯甲烷、三氯一氟甲烷、二氯二氟甲烷、一氯三氟甲烷中的一种或一种以上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗孟飞，钱林，鲁继青，邢丽琼，毕庆员，周黎旸，陈科峰，张学良，严孝忠，
申请(专利权)人：浙江师范大学，浙江衢化氟化学有限公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]