一种四点定位标定样品厚度装置制造方法及图纸

本技术涉及激光刻蚀技术领域，具体涉及一种四点定位标定样品厚度装置，包括底座，所述底座的外壁顶端一侧固定有曲型支臂，所述底座的外壁顶端且位于曲型支臂的下方设置有对产品进行支撑的检测座，所述曲型支臂的外壁前端且位于检测座的上方设置有对产品厚度进行检测的相机检测部件和激光检测部件，本技术中，可先通过空载进行检测作为基准面，接着即可由机械爪将产品放置在产品放置座上，随后即可在控制面板的作用下进行高效、全自动化定位测高，同时设计简单，空间利用率高，且结构稳定，传动机构坚固，而通过相机与激光测高仪的配合作用可使得测量精度高达2um，进而能够提高后续对产品的加工精度，从而更方便人员进行使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光刻蚀，具体涉及一种四点定位标定样品厚度装置。

技术介绍

1、对于不同厚度样品的激光刻蚀，加工预留相同厚度，需要对厚度的精确测量，然后按比例分配激光功率，达到不同厚度的刻蚀加工，而现有的产品厚度测量方式大多是通过非接触式传感器或千分尺、数显卡尺等方式进行检测，而上述检测方式其精度误差大多都在5-10um以上，而该误差对于精加工而言，误差数值还是较大，从而在特殊情况下不便于人员进行使用，因而还存有一定的不足之处。

2、综上，专利技术一种四点定位标定样品厚度装置很有必要。

技术实现思路

1、为此，本技术提供一种四点定位标定样品厚度装置，以解决上述检测方式其精度误差大多都在5-10um以上，而该误差对于精加工而言，误差数值还是较大，从而在特殊情况下不便于人员进行使用的问题。

2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种四点定位标定样品厚度装置，包括底座，所述底座的外壁顶端一侧固定有曲型支臂，所述底座的外壁顶端且位于曲型支臂的下方设置有对产品进行支撑的检测座，所述检测座的底端本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种四点定位标定样品厚度装置，包括底座(100)，所述底座(100)的外壁顶端一侧固定有曲型支臂(300)，其特征在于：所述底座(100)的外壁顶端且位于曲型支臂(300)的下方设置有对产品进行支撑的检测座(200)，所述检测座(200)的底端安装有移动机构，所述曲型支臂(300)的外壁前端且位于检测座(200)的上方设置有对产品厚度进行检测的相机检测部件和激光检测部件。

2.根据权利要求1所述的一种四点定位标定样品厚度装置，其特征在于：所述移动机构包括直线电机a(110)，所述直线电机a(110)安装在底座(100)的外壁顶端，所述直线电机a(110)的外壁顶部安装有直...

【技术特征摘要】

1.一种四点定位标定样品厚度装置，包括底座(100)，所述底座(100)的外壁顶端一侧固定有曲型支臂(300)，其特征在于：所述底座(100)的外壁顶端且位于曲型支臂(300)的下方设置有对产品进行支撑的检测座(200)，所述检测座(200)的底端安装有移动机构，所述曲型支臂(300)的外壁前端且位于检测座(200)的上方设置有对产品厚度进行检测的相机检测部件和激光检测部件。

2.根据权利要求1所述的一种四点定位标定样品厚度装置，其特征在于：所述移动机构包括直线电机a(110)，所述直线电机a(110)安装在底座(100)的外壁顶端，所述直线电机a(110)的外壁顶部安装有直线电机b(120)。

3.根据权利要求2所述的一种四点定位标定样品厚度装置，其特征在于：所述直线电机b(120)的外壁顶端横向滑动连接有支撑座(210)，所述检测座(200)的底端与支撑座(210)的外壁顶端固定，所述检测座(200)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚渊，谢万活，孙明阳，
申请(专利权)人：苏州运达恒兴科技有限公司，
类型：新型
国别省市：