一种极化方向随动的激光旋切结构制造技术

本实用新型专利技术公开的属于激光旋切技术领域，具体为一种极化方向随动的激光旋切结构，包括：第一

【技术实现步骤摘要】
一种极化方向随动的激光旋切结构


[0001]本技术涉及激光旋切
，具体为一种极化方向随动的激光旋切结构
。

技术介绍

[0002]激光打孔装置内部使用的光学器件及工作原理的不同可将激光打孔分为振镜扫描式打孔系统
、
三光楔旋转扫描打孔系统
、
道威棱镜旋转扫描打孔系统
。
其中，振镜扫描打孔系统为最成熟的打孔系统，加工范围大，控制简单
。
[0003]目前在利用振镜扫描打孔系统进行旋切打孔时，其振镜输出光束经过场镜聚焦，只能改变焦点在平面的位置，光束基本垂直于加工上表面，不能有效控制焦点光束指向，在加工一定深度的槽或孔时，光束和侧壁的夹角很大，反射率很高，光吸收很差，随着孔深或槽深的增大，侧壁锥度或倾角会越来越大，进而会影响其加工质量
。
因此，专利技术一种极化方向随动的激光旋切结构
。

技术实现思路

[0004]鉴于上述和
/
或现有一种极化方向随动的激光旋切结构中存在的问题，提出了本技术
。
[0005]因此，本技术的目的是提供一种极化方向随动的激光旋切结构，能够解决上述提出现有的问题
。
[0006]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0007]一种极化方向随动的激光旋切结构，其包括：
[0008]第一
λ
/2
波片；
[0009]光束位移模块，所述光束位移模块设在第一
λ
/2
波片的一侧上；
[0010]第一光束偏转模块，所述第一光束偏转模块设在光束位移模块的一侧上；
[0011]第二光束偏转模块，所述第二光束偏转模块设在第一光束偏转模块的一侧上；
[0012]光束聚焦模块，所述光束聚焦模块设在第二光束偏转模块的一侧上
。
[0013]作为本技术所述的一种极化方向随动的激光旋切结构的一种优选方案，其中：所述光束位移模块包括：
[0014]第一5°
楔形棱镜，所述第一5°
楔形棱镜设在第一
λ
/2
波片的一侧上；
[0015]第二5°
楔形棱镜，所述第二5°
楔形棱镜设在第一5°
楔形棱镜的一侧上
。
[0016]作为本技术所述的一种极化方向随动的激光旋切结构的一种优选方案，其中：所述第一光束偏转模块包括：
[0017]第三5°
楔形棱镜，所述第三5°
楔形棱镜设在第二5°
楔形棱镜的一侧上；
[0018]第四5°
楔形棱镜，所述第四5°
楔形棱镜设在第三5°
楔形棱镜的一侧上
。
[0019]作为本技术所述的一种极化方向随动的激光旋切结构的一种优选方案，其中：所述第二光束偏转模块包括：
[0020]第二
λ
/2
波片，所述第二
λ
/2
波片设在第四5°
楔形棱镜的一侧上；
[0021]2°
楔形棱镜，所述2°
楔形棱镜设在第二
λ
/2
波片的一侧上
。
[0022]作为本技术所述的一种极化方向随动的激光旋切结构的一种优选方案，其中：所述光束聚焦模块包括：
[0023]第一聚焦镜，所述第一聚焦镜设在2°
楔形棱镜的一侧上；
[0024]第二聚焦镜，所述第二聚焦镜设在第一聚焦镜的一侧上；
[0025]第三聚焦镜，所述第三聚焦镜设在第二聚焦镜的一侧上；
[0026]第四聚焦镜，所述第四聚焦镜设在第三聚焦镜的一侧上
。
[0027]与现有技术相比：
[0028]1.
与传统振镜加工相比，振镜输出光束经过场镜聚焦，只能改变焦点在平面的位置，光束基本垂直于加工上表面，不能有效控制焦点光束指向，在加工由一定深度的槽或孔时，光束和侧壁的夹角很大，反射率很高，光吸收很差，随着孔深或槽深的增大，侧壁锥度或倾角会越来越大，而本技术的光学结构可以多级改变光束的指向和位置，可以有效减少侧壁锥度；
[0029]2.
与其他旋切装置相比，本专利采用光束位移模块
、
第一光束偏转模块和第二光束偏转模块三模块设计，可以单独控制光束的每一个自由度，控制逻辑更清晰，加工方式更多样，再者本专利还添加了光束聚焦模块，在加工光滑表面时可以有效改善光吸收率，在加工晶体材料时，可以根据不同晶向改变光束偏振状态，改善加工效果；
[0030]3.
由于本技术的第二光束偏转模块输出口位置的光束和主光轴的距离和夹角可以调节，使用者可以根据自己的加工需要更换不同的聚焦镜，以满足不同加工需求
。
附图说明
[0031]图1为本技术结构示意图；
[0032]图2为本技术原理示意图
。
[0033]图中：第一
λ
/2
波片
1、
第一5°
楔形棱镜
2、
第二5°
楔形棱镜
3、
第三5°
楔形棱镜
4、
第四5°
楔形棱镜
5、
第二
λ
/2
波片
6、2
°
楔形棱镜
7、
第一聚焦镜
8、
第二聚焦镜
9、
第三聚焦镜
10、
第四聚焦镜
11、
光束位移模块
20、
第一光束偏转模块
30、
第二光束偏转模块
40、
光束聚焦模块
50。
具体实施方式
[0034]为使本技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述
。
[0035]本技术提供一种极化方向随动的激光旋切结构，请参阅图1‑
图2，包括：第一
λ
/2
波片
1、
光束位移模块
20、
第一光束偏转模块
30、
第二光束偏转模块
40、
光束聚焦模块
50
；
[0036]光束位移模块
20
设在第一
λ
/2
波片1的一侧上，第一光束偏转模块
30
设在光束位移模块
20
的一侧上，第二光束偏转模块
40
设在第一光束偏转模块
30
的一侧上，光束聚焦模块
50
设在第二光束偏转模块
40
的一侧上
。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种极化方向随动的激光旋切结构，其特征在于，包括：第一
λ
/2
波片
(1)
；光束位移模块
(20)
，所述光束位移模块
(20)
设在第一
λ
/2
波片
(1)
的一侧上；第一光束偏转模块
(30)
，所述第一光束偏转模块
(30)
设在光束位移模块
(20)
的一侧上；第二光束偏转模块
(40)
，所述第二光束偏转模块
(40)
设在第一光束偏转模块
(30)
的一侧上；光束聚焦模块
(50)
，所述光束聚焦模块
(50)
设在第二光束偏转模块
(40)
的一侧上
。2.
根据权利要求1所述的一种极化方向随动的激光旋切结构，其特征在于，所述光束位移模块
(20)
包括：第一5°
楔形棱镜
(2)
，所述第一5°
楔形棱镜
(2)
设在第一
λ
/2
波片
(1)
的一侧上；第二5°
楔形棱镜
(3)
，所述第二5°
楔形棱镜
(3)
设在第一5°
楔形棱镜
(2)
的一侧上
。3.
根据权利要求2所述的一种极化方向随动的激光旋切结构，其特征在于，所述第一光束偏转模块
(30)
包括：第三5°
楔形棱镜
(4)
，所述第三5°
楔形棱镜
(4)

【专利技术属性】
技术研发人员：褚渊，谢万活，周立，
申请(专利权)人：苏州运达恒兴科技有限公司，
类型：新型
国别省市：