一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统技术方案

本发明专利技术公开了一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统，该整形系统由4组反射镜组成，分别为M1凸双曲柱面反射镜、M2凹扁椭圆柱面反射镜、M3凸抛物柱面反射镜和M4凹抛物柱面反射镜。本发明专利技术的整形系统设计得到的线光斑在X方向上的光强分布情况，激光光强按高斯型分布，经过本系统的四面反射镜的整形，使得聚焦光斑的分布呈平顶型，这这种分布形态有利于保持工艺的一致性，提升加工效率；同时得到的线光斑在Y方向上的光强分布情况，在圈入能量为86.5％时，光斑宽度小于0.12mm。满足激光改性所需要的0.15mm的光斑宽度要求。所需要的0.15mm的光斑宽度要求。所需要的0.15mm的光斑宽度要求。

【技术实现步骤摘要】
一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统


[0001]本专利技术涉及线光斑整形
，具体为一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统。

技术介绍

[0002]高精度激光加工早已在泛半导体，军工，消费电子等行业，随着生产工艺的不断发展，高效率的激光加工需求也随之产生。
[0003]目前激光行业在大面积的加工方式有点振镜扫码和线光斑扫描。点光斑扫描时最长见的一种，通过二维振镜扫描对产品表面进行逐点加工；线光斑扫描是将圆光斑通过柱镜将光斑整形成线光斑，通过一维振镜或一维平台移动对产品表面进行逐线扫描。由于激光光束的高斯分布特点，通过透镜组成的光束整形系统结构复杂，调试维护困难，造价高。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统，解决了传统透镜组成的光束整形系统结构复杂，调试维护困难，造价高的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述问题，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种分级分维度反射式均匀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统，其特征在于，该整形系统由4组反射镜组成，分别为M1凸双曲柱面反射镜、M2凹扁椭圆柱面反射镜、M3凸抛物柱面反射镜和M4凹抛物柱面反射镜，其中：所述M1凸双曲柱面反射镜为顶端曲率半径10，圆锥系数1.5，X方向上，顶端曲率大，而两侧曲率小，高斯光束经过此镜后，由光束中心到光束边沿，发散角逐渐递减；所述M2凹扁椭圆柱面反射镜为顶端曲率半径160，圆锥系数0.4，X方向上，顶端曲率小而四周曲率大，将经过M1的发散角不同的光束在X方向上形成光强均匀的分布；所述M3凸抛物柱面反射镜为顶端曲率半径400，圆锥系数1，在Y方向上，对光束进行发散，使得到达M4上的光斑更大，提高系统的像方数值孔径，以获得更小...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚渊，谢万活，周立，汤晓晨，
申请(专利权)人：苏州运达恒兴科技有限公司，
类型：发明
国别省市：