下载一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统的技术资料

文档序号:37510316

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本发明公开了一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统,该整形系统由4组反射镜组成,分别为M1凸双曲柱面反射镜、M2凹扁椭圆柱面反射镜、M3凸抛物柱面反射镜和M4凹抛物柱面反射镜。本发明的整形系统设计得到的线光斑在X方向上的光强分布情况,激光光...
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