【技术实现步骤摘要】
一种照明区域可调的照明装置和图像采集系统
[0001]本技术涉及光斑整形领域,尤其涉及使用光阑进行光斑整形的领域。
技术介绍
[0002]在半导体前制程、后制程或其他产业的Defect高度精密量测和检出应用的领域,经常需要为不同检测要求的待测物及不同规格的相机提供不同形式的照明。
[0003]专利CN 206539983 U提出,平凸透镜和光学配件均能够随着调焦筒的移动改变与光源之间的距离,其可根据被照物的形状来调节光斑大小和光斑形状。当需要根据不同的被照物调整相适应的光斑形状时,更换相应的光学配件。此类技术方案通过改变可变焦透镜中心与发光物体之间的距离,实现光束输出的光形变化,以应对不同照明需求,在目前的行业应用中占有相当规模的市场。但是,这种技术方案有其重大缺陷:在调整透镜的过程中,容易出现因装配偏差或频繁移动造成的光轴倾斜与光照度分布不均匀的情况,增加了缺陷检测中,取图识别判断的难度。
[0004]专利CN 114839785 A提出,通过改变若干个细圆柱体,即改变光阑通光孔径形状,实现光斑整形。在进行 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种照明区域可调的照明装置,其特征在于,所述照明装置包括:壳体(1),光源组件(2)和光阑(3);所述壳体(1)是所述装置的外壳;所述光源组件(2)安装在所述壳体(1)的一端,用于发出符合预期发散角度的照明光束;所述光阑(3)位于所述光源组件(2)的前方;所述光阑(3)上开有光阑孔;所述壳体(1)的另一端开有出光孔(4);所述出光孔(4)的形状和所述光阑孔的形状不同;所述出光孔(4)大于所述光阑孔;所述光阑(3)能够在所述光源组件(2)和所述出光孔(4)之间移动,当所述光阑(3)位于M点时,部分所述照明光束不能穿过所述光阑孔,但所述照明光束在穿过所述光阑孔后都能通过所述出光孔(4),所述照明光束输出的光斑形状和所述光阑孔的形状相同;当所述光阑(3)位于N点时,在穿过所述光阑孔后部分所述照明光束能通过所述出光孔(4),所述照明光束输出的光斑形状和所述出光孔(4)的形状相同。2.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于:所述光阑孔为矩形,所述出光孔(4)为圆形;以所述光源组件(2)至所述出光孔(4)的距离为L;以所述出光孔(4)的直径为D;以所述光阑孔的外接圆直径为2R;以所述NM之间的距离为l;则有:2R<D<0.66*L且l<2.83*(D
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2R)。3.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于:所述壳体(1)的内壁涂有反射涂层。4.根据权利要求1
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3任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:兰海燕,李士昌,
申请(专利权)人:盛吉盛宁波半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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