【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、在带电粒子显微镜中，当电子束与样品的原子相互作用时，通过电子束的弹性散射产生背散射电子(bse)。bse信号通常用于扫描电子显微镜(sem)系统中的元素分析。例如，bse信号能够用于生成或增强sem图像中的对比度，其中图像的较亮区域对应于较重元素。该对比效果至少部分地出现，因为除了其他操作参数(例如，束电流和加速电压)之外，bse信号的幅度还取决于原子的原子序数。
2、由加热的样品和/或样品镜台发射的热光子的能量足以在一些基于半导体的bse检测器中诱导电子-空穴对的形成。例如，在红外光谱中，波长短于1127nm的光子的能量足以在带隙为约1.1ev的掺杂硅中产生电子-空穴对。对于带隙为2ev的半导体，在可见光谱中波长短于约620nm的光子具有足够的能量以产生电子-空穴对。因此，bse信号易受由热光子以及其他源(包括但不限于使用可见光谱源的室内照明)产生的噪声的影响。
3、针对加热的镜台sem系统中的热噪声的现有解决方案依赖于铝覆盖的闪烁体检测器，例如robinson型检测器。如在用于二次电子检测的e...
【技术保护点】
1.一种带电粒子传感器，所述带电粒子传感器包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述半导体材料包括sp3杂化碳，其特征在于杂质浓度等于或小于约5ppb。
3.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述半导体材料包括选自由以下项组成的组的一种或多种材料：碳化硅、单晶金刚石、多晶金刚石、氮化镓、磷化镓、硫化镉、磷化铝、硒化锌、硫化锌或氮化铝。
4.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述壳体被配置为与所述SEM的极片机械耦合。
5.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述壳体被配置为与所述SEM机械耦...
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子传感器，所述带电粒子传感器包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述半导体材料包括sp3杂化碳，其特征在于杂质浓度等于或小于约5ppb。
3.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述半导体材料包括选自由以下项组成的组的一种或多种材料：碳化硅、单晶金刚石、多晶金刚石、氮化镓、磷化镓、硫化镉、磷化铝、硒化锌、硫化锌或氮化铝。
4.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述壳体被配置为与所述sem的极片机械耦合。
5.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述壳体被配置为与所述sem机械耦合，使得所述带电粒子传感器设置在所述sem的束柱中并且取向成检测背散射电子。
6.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述受体层的特征在于所述第一导电层与所述第二导电层之间的厚度为约10μm至约500μm。
7.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，还被配置为跨越所述受体层施加约0.1v至约5kv的偏置电压。
8.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，限定孔，其中：
9.根据权利要求1所述的带电粒子传感器，其中所述检测器单元是第一检测器单元，所述传感器还包括第二检测器单元，所述第二检测器单元包括：
10.根据权利要求9所述的带电粒子传感器，其中所述第一检测器单元和所述第二检测器单元以同心布置设置。
11.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·斯特拉卡，J·拉斯科，L·诺瓦克，V·马赫尔，R·斯莫尔卡，P·格拉杰克，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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