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包括宽带隙材料的带电粒子传感器。提供了带电粒子显微镜法系统、传感器和技术。一种带电粒子传感器可包括壳体，该壳体被配置为结合到扫描电子显微镜(SEM)中。该带电粒子传感器可包括与该壳体机械耦合的检测器单元。该检测器单元可包括受体层，该受体层包...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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